[發明專利]磁控管濺射有效
| 申請號： | 01810986.1 | 申請日： | 2001-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN1436361A | 公開（公告）日： | 2003-08-13 |
| 發明（設計）人： | 史蒂文·羅伯特·伯吉斯;卡斯藤·喬更斯 | 申請（專利權）人： | 特利康控股有限公司;史蒂文·羅伯特·伯吉斯 |
| 主分類號： | H01J37/34 | 分類號： | H01J37/34 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 王永剛 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磁控管 濺射 | ||
【權利要求書】：
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