[發明專利]外觀檢查用投光裝置無效
| 申請號: | 01802520.X | 申請日: | 2001-08-23 |
| 公開(公告)號: | CN1388897A | 公開(公告)日: | 2003-01-01 |
| 發明(設計)人: | 今井伸明;西澤誠 | 申請(專利權)人: | 奧林巴斯光學工業株式會社 |
| 主分類號: | G01N21/84 | 分類號: | G01N21/84;G01M11/00 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人: | 黃劍鋒 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 外觀 檢查 用投光 裝置 | ||
1.一種外觀檢查用投光裝置,包括:
照明光源;
反射光學系統,使來自該照明光源的光向被檢查部件反射;以及
聚光光學系統,配置在該反射光學系統的反射光路上;
其特征在于,所述聚光光學系統至少被分割成2個部分,通過來自這些被分割的各聚光光學系統的照明光束,能夠照射所述被檢查部件的整個表面。
2.如權利要求1所述的外觀檢查用投光裝置,其特征在于,來自所述各聚光光學系統的照明光束分別照射所述被檢查部件的部分區域。
3.如權利要求1所述的外觀檢查用投光裝置,其特征在于,將所述照明光源和所述反射光學系統設置在所述各聚光光學系統中。
4.如權利要求1所述的外觀檢查用投光裝置,其特征在于,使所述各聚光光學系統的光軸在焦點附近交叉或集中。
5.如權利要求1所述的外觀檢查用投光裝置,其特征在于,所述照明光源被設置成對每個多組的所述聚光光學系統是公用的。
6.如權利要求1所述的外觀檢查用投光裝置,其特征在于,所述反射光學系統由第1反射部件和第2反射部件組成,
所述第1反射部件將來自所述照明光源的光向所述第2反射部件反射,所述第2反射部件將來自所述第1反射部件的光向所述被檢查部件反射。
7.如權利要求6所述的外觀檢查用投光裝置,其特征在于,所述第2反射部件可擺動。
8.如權利要求7所述的外觀檢查用投光裝置,其特征在于,通過所述照明光源和所述第1反射部件進行連動,能夠變更所述被檢查部件的照射區域。
9.如權利要求1至8所述的外觀檢查用投光裝置,其特征在于,使所述照明光源和所述聚光光學系統能夠向光軸方向相對地移動。
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