[發明專利]場分布測量方法及裝置無效
| 申請號: | 01801136.5 | 申請日: | 2001-04-19 |
| 公開(公告)號: | CN1372644A | 公開(公告)日: | 2002-10-02 |
| 發明(設計)人: | 北吉均 | 申請(專利權)人: | 株式會社愛德萬測試 |
| 主分類號: | G01R29/08 | 分類號: | G01R29/08;G01R33/10 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人: | 杜日新 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 分布 測量方法 裝置 | ||
1.一種場分布測量方法,通過使探頭連續進行掃描的同時,在多數取樣點上進行測量,測量電場或磁場的空間分布,其特征在于:
根據由上述探頭的位置和測量定時之間的偏差所產生的寄生頻譜,計算出取樣點的偏差量,并考慮上述偏差量,測量電場或磁場的分布。
2.如權利要求1所述的場分布測量方法,其特征在于:
使上述探頭在第1方向掃描的同時測量的多數測量數據,與上述探頭的位置信息一起作為基準數據進行記錄;
使上述探頭在與上述第1方向相反的第2方向上掃描的同時測量的多數測量數據,與上述探頭的位置信息一起作為調整數據進行記錄;
對上述調整數據進行插補處理,計算出對上述取樣點間的數據進行插補的插補數據;
計算出對上述基準數據及上述插補數據的空間頻率功率譜;
根據上述空間頻率功率譜,計算出上述取樣點的偏差量。
3.如權利要求2所述的場分布測量方法,其特征在于:
上述取樣點的偏差量,根據上述空間頻率功率譜的累積值算出。
4.如權利要求3所述的場分布測量方法,其特征在于:
上述取樣點的偏差量,根據上述空間頻率頻譜的累積值為規定值以下的點進行判斷。
5.如權利要求3或4所述的場分布測量方法,其特征在于:
上述取樣點的偏差量,根據上述空間頻率頻譜的累積值為最小的點進行判斷。
6.如權利要求1至5的任一項所述的場分布測量方法,其特征在于:
考慮上述探頭的加速·減速,計算出上述取樣點的偏差量。
7.如權利要求1至6的任一項所述的場分布測量方法,其特征在于:
上述探頭在二維平面上掃描。
8.如權利要求1至6的任一項所述的場分布測量方法,其特征在于:
上述探頭在三維空間內掃描。
9.一種場分布測量裝置,其特征在于包括:
探頭,用于在平面上或空間內連續進行掃描的同時,在多數取樣點上檢測電場或磁場;
測量器,用于測量由上述探頭所檢測的電場或磁場;
記錄裝置,用于對由上述測量器所測量的電場或磁場數據與上述探頭的位置數據一起進行記錄;
數據處理裝置,用于根據上述記錄裝置所記錄的數據,計算出由上述探頭的位置和測量的定時之間的偏差所產生的取樣點偏差量;以及
運算裝置,該裝置考慮由上述數據處理裝置所計算出的上述取樣點的偏差量,計算由上述探頭所檢測出的電場或磁場的空間分布。
10.如權利要求9所述的場分布測量裝置,其特征在于:
上述數據處理裝置根據由上述探頭的位置和測量定時之間的偏差所產生的寄生頻譜,判斷上述取樣點的偏差量。
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