[實用新型]陰極靶修磨器

無效

• 申請號: 01247042.2
• 申請日: 2001-09-14
• 公開（公告）號: CN2496129Y
• 公開（公告）日: 2002-06-19
• 發明（設計）人: 趙玉清
• 申請（專利權）人: 陜西百納科技發展有限責任公司
• 主分類號: H01J9/50
• 分類號: H01J9/50
• 代理公司: 西安新思維專利事務所有限公司
• 代理人: 徐平

技術領域

本實用新型涉及一種陰極靶修磨器，尤其是一種用于工業生產中的制備超硬薄膜的離子源裝置中的陰極靶修磨器。

背景技術

背景技術中，由于離子源裝置中的陰極靶靶面在放電過程中被電弧燒蝕后，會影響正常的放電，即容易滅弧，這時需要對靶面進行切削修磨，傳統的修磨將該陰極靶卸下，在銑刀裝置上修磨后，再將陰極靶裝入離子源裝置中，即銑刀裝置與離子源裝置分離，該結構的銑刀裝置修磨陰極靶，具有以下缺點：

1、操作煩瑣。由于鍍膜裝置是在真空狀態下工作，即陰極靶是在真空狀態下工作，當陰極靶面被電弧燒蝕后，需要將該陰極靶卸下，在銑刀裝置上修磨后，再將陰極靶裝入離子源裝置中，此時需要對鍍膜裝置重新抽真空，陰極靶才能重新工作，即每修磨一次陰極靶面，都要重新抽一次真空，造成工作煩瑣。

2、工作效率低。由于傳統的修磨將該陰極靶卸下，然后進行修磨，這樣做會影響離子源裝置的正常工作，特別是在生產線上，會造成停工現象，工作效率低。

實用新型內容

本實用新型解決了背景技術操作煩瑣，工作效率低的技術問題。

本實用新型的技術方案是：本實用新型包括支架2、電機9和切削裝置5，切削裝置5包括銑刀12，該銑刀12通過刀柄11夾持在銑刀夾頭10上，其特殊之處在于：所述電機9通過傳動裝置8與切削裝置5聯接，所述傳動裝置8與銑刀夾頭10間為磁性聯接；所述支架2上設有驅動裝置13，該驅動裝置13與銑刀夾頭10聯接；所述切削裝置5外側設有波紋管4。

上述波紋管4一端通過波紋管固定管14設置在支架2上，另一端通過波紋管移動板3與銑刀夾頭10聯接。

上述支架2包括驅動裝置支撐板7和切削裝置支撐板1，驅動裝置13設置在驅動裝置支撐板7上，切削裝置5設置在切削裝置支撐板1上。

上述驅動裝置13包括汽缸6，該汽缸6一端通過波紋管移動板3與銑刀夾頭10聯接，另一端設置在驅動裝置支撐板7上。

本實用新型具有以下優點：

1、操作簡單。本實用新型直接設置在電子源裝置中的鍍膜裝置上，其銑刀可直接伸到陰極靶靶面上進行切削修磨，不需將陰極靶卸下；并且本實用新型的切削裝置外側設有波紋管，其可保證切削裝置與鍍膜裝置間保持真空，即修磨過程直接在真空狀態下完成，不用重新抽真空，操作簡單。

2、工作效率高。本實用新型與鍍膜裝置連為一體，其銑刀可直接伸到陰極靶靶面上進行切削修磨，不需將陰極靶卸下，可以保證生產線工作的連續性，工作效率高。

圖面說明

附圖為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

參見附圖，本實用新型包括支架2、電機9和切削裝置5，該切削裝置5包括銑刀12，其通過刀柄11夾持在銑刀夾頭10上，電機9通過傳動裝置8與切削裝置5聯接，傳動裝置8與銑刀夾頭10間為磁性聯接，采用磁性聯接可保證切削裝置5的真空密封；支架2包括驅動裝置支撐板7和切削裝置支撐板1，驅動裝置13一端設置在驅動裝置支撐板7上，另一端與銑刀夾頭10聯接，切削裝置5一端設置在切削裝置支撐板1上。驅動裝置13可以為汽缸6，也可以為傳統的用于銑刀裝置的機械驅動裝置，以汽缸6為宜，驅動裝置為汽缸6時，其一端通過波紋管移動板3與銑刀夾頭10聯接，另一端設置在驅動裝置支撐板7上；切削裝置5外側設有波紋管4。設置波紋管4，可保證切削裝置5與鍍膜裝置間保持真空，同時該波紋管4可隨汽缸6自由伸縮，使得切削裝置5在切削過程中，切削裝置5與鍍膜裝置間仍保持真空，該波紋管4一端通過波紋管固定管14設置在支架2上，另一端通過波紋管移動板3與銑刀夾頭10聯接，波紋管移動板3可隨波紋管4水平移動，同時其可保持波紋管4內的密封。

當陰極靶面燒蝕后，由計算機發出指令，將陰極靶收回，同時將靶升到預定的位置，銑刀12在汽缸6的作用下伸到靶面上，銑刀12在電機9的驅動下旋轉，陰極靶也同時進行旋轉，對陰極靶面進行修磨，修磨完后，將銑刀12收回，陰極靶重新升回工作位置，繼續放電工作。