[實用新型]陰極靶修磨器

無效

• 申請號: 01247042.2
• 申請日: 2001-09-14
• 公開（公告）號: CN2496129Y
• 公開（公告）日: 2002-06-19
• 發明（設計）人: 趙玉清
• 申請（專利權）人: 陜西百納科技發展有限責任公司
• 主分類號: H01J9/50
• 分類號: H01J9/50
• 代理公司: 西安新思維專利事務所有限公司
• 代理人: 徐平

1、一種用于工業生產中的制備超硬薄膜的離子源裝置的陰極靶修磨器，包括支架(2)、電機(9)和切削裝置(5)，所述切削裝置(5)包括銑刀(12)，該銑刀(12)通過刀柄(11)夾持在銑刀夾頭(10)上，其特征在于：所述電機(9)通過傳動裝置(8)與切削裝置(5)聯接，所述傳動裝置(8)與銑刀夾頭(10)間為磁性聯接；所述支架(2)上設有驅動裝置(13)，該驅動裝置(13)與銑刀夾頭(10)聯接；所述切削裝置(5)外側設有波紋管(4)。

2、如權利要求1所述的陰極靶修磨器，其特征在于：所述波紋管(4)一端通過波紋管固定管(14)設置在支架(2)上，另一端通過波紋管移動板(3)與銑刀夾頭(10)聯接。

3、如權利要求2所述的陰極靶修磨器，其特征在于：所述支架(2)包括驅動裝置支撐板(7)和切削裝置支撐板(1)，所述驅動裝置(13)設置在驅動裝置支撐板(7)上，所述切削裝置(5)設置在切削裝置支撐板(1)上。

4、如權利要求3所述的陰極靶修磨器，其特征在于：所述驅動裝置(13)包括汽缸(6)，所述汽缸(6)一端通過波紋管移動板(3)與銑刀夾頭(10)聯接，另一端設置在驅動裝置支撐板(7)上。