[實(shí)用新型]半導(dǎo)體封裝元件的測試裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 01231693.8 | 申請日: | 2001-07-23 |
| 公開(公告)號: | CN2528108Y | 公開(公告)日: | 2002-12-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 吳志成;楊昌國 | 申請(專利權(quán))人: | 吳志成;楊昌國 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;G01R31/26 |
| 代理公司: | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 劉朝華 |
| 地址: | 中國*** | 國省代碼: | 臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 半導(dǎo)體 封裝 元件 測試 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型為一種半導(dǎo)體封裝元件的測試裝置,特別是指一種可重覆使用及可簡易維修的測試裝置,使測試成本可大幅降低。
背景技術(shù)
眾所周知,一般半導(dǎo)體元件在封裝(Package)完成后,必須予以測試其電性或功能,將封裝過程中種種因素所造成的不良品予以篩選。
圖1為傳統(tǒng)的半導(dǎo)體封裝元件測試方式,是將半導(dǎo)體封裝元件10置放入一測試裝置12(Socket)內(nèi),測試裝置12包括有一座體14及多數(shù)個(gè)探針16,座體14形成有一配合半導(dǎo)體封裝元件10尺寸的凹槽18,用以容置并定位住半導(dǎo)體封裝元件10。每一探針16是依半導(dǎo)體封裝元件10的待測點(diǎn)20位置固定于底座14內(nèi),其一端凸出于凹槽18內(nèi),用以與半導(dǎo)體封裝元件10的待測點(diǎn)20接觸,另一端凸出于底座14外側(cè),用以插置入一印刷電路板22預(yù)設(shè)的穿孔24內(nèi),再通過印刷電路板22將測試訊號傳送至測試機(jī)(圖未顯示)上,以測試半導(dǎo)體封裝元件10的電性或功能。
圖2是探針16的放大剖視圖,由于半導(dǎo)體封裝元件10是直接與探針16壓抵接觸,因此,為了不損及到半導(dǎo)體封裝元件10的待測點(diǎn)20,探針16必須設(shè)置成具有彈性效果,以增加半導(dǎo)體封裝元件10與探針16間的緩沖力,探針16包括有外筒26、設(shè)置于外筒26內(nèi)的彈性元件28及插置入外筒26內(nèi)且壓抵住彈性元件28的針體30,探針16與半導(dǎo)體封裝元件10間具有緩沖效果,可避免損及半導(dǎo)體封裝元件10的待測點(diǎn)20。其主要缺陷在于:
1、探針16構(gòu)造復(fù)雜,如采用更細(xì)微的探針時(shí),其制造成本相當(dāng)昂貴。
2、探針固定在底座14上,當(dāng)其中一探針16損壞時(shí),無法更替,而必需將整個(gè)裝置報(bào)費(fèi);
3、當(dāng)半導(dǎo)體封裝元件10的種類、型號不同,以致其待測點(diǎn)20位置不同時(shí),該裝置將無法使用,而必需予以報(bào)費(fèi),且探針16無法回收使用,造成資源的浪費(fèi)及環(huán)保問題。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的是提供一種半導(dǎo)體封裝元件的測試裝置,通過將彈性元件與針體分離設(shè)置,而非包覆于套筒內(nèi),因而其制成相當(dāng)細(xì)小時(shí),其成本亦相當(dāng)?shù)土_(dá)到制造簡便及降低測試成本的目的。
本實(shí)用新型的另一目的是提供一種半導(dǎo)體封裝元件的測試裝置,當(dāng)裝置中針體損壞時(shí),可直接抽換針體,而不必報(bào)費(fèi)整個(gè)裝置。達(dá)到可回收重復(fù)使用及節(jié)省資源的目的。
本實(shí)用新型的又一目的是提供一種半導(dǎo)體封裝元件的測試裝置,當(dāng)同一型號規(guī)格的半導(dǎo)體封裝元件測試完成后,可重新調(diào)整針體位置,使裝置可重新使用。達(dá)到便于維修、更換探針及降低測試裝置支出的成本的目的。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種半導(dǎo)體封裝元件的測試裝置,包括有一針板、多數(shù)個(gè)彈性元件、多數(shù)個(gè)針體、多數(shù)個(gè)導(dǎo)電元件、一定位裝置及固定元件,其特征是:該針板設(shè)有多數(shù)個(gè)對應(yīng)于半導(dǎo)體封裝元件的多數(shù)個(gè)待測點(diǎn)位置的針孔;多數(shù)個(gè)彈性元件是分別設(shè)置于該針板的針孔內(nèi);多數(shù)個(gè)針體的每一針體設(shè)有第一端點(diǎn)及第二端點(diǎn),該第一端點(diǎn)是由該針板插入針孔內(nèi),并與該彈性元件接觸,該第二端點(diǎn)則由該針孔露出,與該半導(dǎo)體封裝元件的待測點(diǎn)接觸;多數(shù)個(gè)導(dǎo)電元件設(shè)有上端點(diǎn)及下端點(diǎn),該上端點(diǎn)是與該針板的針孔內(nèi)的彈性元件接觸,該下端點(diǎn)則由該針孔露出,將訊號傳遞至測試機(jī);定位裝置是設(shè)置于該針板上,定位住該半導(dǎo)體封裝元件。
該針板包括有上針板、中針板及下針板,該上針板設(shè)有上針孔,該中針板設(shè)有中針孔,該下針板設(shè)有下針孔,該彈性元件位于該中針孔內(nèi)。該上針板與中針板間,以及中針板及下針板間設(shè)有固定住該針體及導(dǎo)電元件的固定元件。該固定元件為能被該針體及導(dǎo)電元件刺穿的軟性板,并夾持固定住針體及導(dǎo)電元件。該針板包括有上針板及中針板,該上針板設(shè)有上針孔,該中針板設(shè)有中針孔,該導(dǎo)電元件的上端點(diǎn)是穿設(shè)入該中針板的中針孔內(nèi),與該彈性元件接觸。該導(dǎo)電元件的上端點(diǎn)形成有容置該彈性元件的容室,與該彈性元件接觸。該上針板及中針板間設(shè)有固定元件,固定住該針體。該定位裝置形成有一定位槽,將該半導(dǎo)體封裝元件定位住。該導(dǎo)電元件的下端點(diǎn)是電連接于印刷電路板將訊號傳遞至測試機(jī)。該針板設(shè)有多數(shù)個(gè)網(wǎng)格狀縱橫交錯(cuò)排列的針孔,該多數(shù)個(gè)彈性元件是分別置入對應(yīng)于該半導(dǎo)體封裝元件的多數(shù)個(gè)待測點(diǎn)位置的該針板的針孔內(nèi),該每一針體設(shè)有第一端點(diǎn)及第二端點(diǎn),該第一端點(diǎn)是插入設(shè)有彈性元件的針孔內(nèi),并與該彈性元件接觸,該第二端點(diǎn)則由該針孔露出,與該半導(dǎo)體封裝元件的待測點(diǎn)接觸。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





