[發明專利]可調式偏振光反應光阻與應用該光阻微影工藝有效
| 申請號： | 01130268.2 | 申請日： | 2001-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN1430100A | 公開（公告）日： | 2003-07-16 |
| 發明（設計）人： | 林順利;許偉華 | 申請（專利權）人： | 旺宏電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳專利商標事務所 | 代理人： | 王學強 |
| 地址： | 臺灣省新竹科*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 調式 偏振 光反應 應用 光阻微影 工藝 | ||
【權利要求書】：
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