[發(fā)明專利]曲面貼合過(guò)載保護(hù)的硅微加速度傳感器及制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 01126836.0 | 申請(qǐng)日： | 2001-09-21 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1138147C | 公開(kāi)（公告）日： | 2004-02-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李昕欣;董健;王躍林 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01P15/02 | 分類號(hào)： | G01P15/02 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 曲面 貼合 過(guò)載 保護(hù) 加速度 傳感器 制造 方法 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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