[發(fā)明專利]曲面貼合過載保護(hù)的硅微加速度傳感器及制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 01126836.0 | 申請日： | 2001-09-21 |
| 公開（公告）號： | CN1138147C | 公開（公告）日： | 2004-02-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李昕欣;董健;王躍林 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院上海冶金研究所 |
| 主分類號： | G01P15/02 | 分類號： | G01P15/02 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 曲面 貼合 過載 保護(hù) 加速度 傳感器 制造 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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