[發明專利]膠體狀硅石淤漿有效
| 申請號: | 01123727.9 | 申請日: | 2001-07-30 |
| 公開(公告)號: | CN1150290C | 公開(公告)日: | 2004-05-19 |
| 發明(設計)人: | 松村茂豐;岡田幸夫;馬奈木龍夫;外山景司;酒井正年 | 申請(專利權)人: | 扶?;瘜W工業株式會社 |
| 主分類號: | C09K3/14 | 分類號: | C09K3/14;C09K13/00;H01L21/306 |
| 代理公司: | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人: | 楊淑媛;鄭霞 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 膠體 硅石 | ||
【說明書】:
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