[發明專利]膠體狀硅石淤漿有效
| 申請號： | 01123727.9 | 申請日： | 2001-07-30 |
| 公開（公告）號： | CN1150290C | 公開（公告）日： | 2004-05-19 |
| 發明（設計）人： | 松村茂豐;岡田幸夫;馬奈木龍夫;外山景司;酒井正年 | 申請（專利權）人： | 扶桑化學工業株式會社 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14;C09K13/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人： | 楊淑媛;鄭霞 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 膠體 硅石 | ||
【權利要求書】：
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