[發明專利]積層型電子組件制造方法、制造裝置、母板積層機和底板有效
| 申請號: | 01120725.6 | 申請日: | 2001-05-16 |
| 公開(公告)號: | CN1324084A | 公開(公告)日: | 2001-11-28 |
| 發明(設計)人: | 小泉勝男;關口義二;安藤功一 | 申請(專利權)人: | 太陽誘電株式會社 |
| 主分類號: | H01G4/30 | 分類號: | H01G4/30 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所 | 代理人: | 孫敬國 |
| 地址: | 日本國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 積層型 電子 組件 制造 方法 裝置 母板 積層機 底板 | ||
1.一種積層型電子組件的制造方法,包括堆積預定形狀的積層用母板,并壓著堆積后的多層板的工序,其特征在于,
至少設置用于使2片板在預定路經循環的循環路經,并在所述循環路經途中設定積層場所和壓著場所,
使板循環,以便當1片板在積層場所停止時其它板在壓著場所停止,
在積層場所實施在板上堆積預定片數的積層用母板的作業,并在壓著場所實施壓著板上的多層板的作業。
2.如權利要求1所述的積層型電子組件的制造方法,其特征在于,
在循環路經途中的積層場所正前側設定等待場所,
在等待場所使移行到積層場所前的板暫時地等待。
3.如權利要求2所述的積層型電子組件的制造方法,其特征在于,
在等待場所實施預熱移行到積層場所前的板的作業。
4.如權利要求1至3任何一項所述的積層型電子組件的制造方法,其特征在于,
借助于用預定形狀裁斷在帶狀基膜上形成的帶狀母板并從基膜剝離,得到積層用母板,
在與積層場所鄰接的多個場所,實施用于得到積層用母板的裁斷、剝離作業。
5.一種積層型電子組件的制造裝置,堆積預定形狀的積層用母板,并壓著得到堆積后的多層板,其特征在于,包括
作為堆積積層用母板時的基板的至少2片板,
用于使所述板在包含積層場所和壓著場所的預定路經循環的板搬送機,
用于在積層場所的板上堆積積層用母板的母板積層機,和
用于壓著在壓著場所的板上的多層板的多層板壓著機。
6.如權利要求5所述的積層型電子組件的制造裝置,其特征在于,
包含用于在循環路經中的積層場所正前側,使移行到積層場所前的板暫時地等待的等待場所的板搬送機。
7.如權利要求6所述的積層型電子組件的制造裝置,其特征在于,包括
用于預熱在等待場所的板的板預熱機。
8.如權利要求5至7任何一項所述的積層型電子組件的制造裝置,其特征在于,
母板積層機包括刀刃和吸著頭,刀刃用于將在帶狀基膜上形成的帶狀母板用預定形狀進行裁斷,吸著頭用于將裁斷后的積層用母板從基膜剝離,并將剝離后的積層用母板堆積在板上或者積層完成的板上,
與積層場所鄰接地多個設置所述母板積層機,并對應于各母板積層機,設置使帶狀形成母板的帶狀基膜在預定方向上間歇地移動的母板供給機。
9.一種母板積層機,用于用預定形狀裁斷在帶狀基膜上形成的帶狀母板并從基膜剝離,并堆積剝離后的積層用母板,其特征在于,包括
基臺,
能上下移動地設置在基臺上的積層用母板吸著用的吸著頭,
第1傳動裝置,用于上下移動吸著頭的第1傳動裝置,
刀刃,設置在吸著頭周圍的母板裁斷用的刀刃,
用于使刀刃在預定方向移動的第2傳動裝置,和
用于使吸著頭下降并在接近于帶狀母板時,在同位置固定吸著頭的吸著頭固定裝置。
10.如權利要求9所述的母板積層機,其特征在于,
吸著頭固定裝置由夾緊吸著頭導桿的夾緊機構構成。
11.一種母板積層機,用于用預定形狀裁斷在帶狀基膜上形成的帶狀母板并從基膜剝離,并堆積剝離后的積層用母板,其特征在于,包括
基臺,
能上下移動地設置在基臺上的積層用母板吸著用的吸著頭,
第1傳動裝置,用于上下移動吸著頭的第1傳動裝置,
刀刃,設置在吸著頭周圍的母板裁斷用的刀刃,
用于使刀刃在預定方向移動的第2傳動裝置,和
用于使吸著頭下降并在與帶狀母板接近時,調整由吸著頭加在帶狀母體上的負荷的負荷調整裝置。
12.如權利要求11所述的母板積層機,其特征在于,
由能上方變位吸著頭的汽缸構成負荷調整裝置。
13.一種母板積層用底板,在將積層用母板堆積在板上時,預先敷設在板的底板中,其特征在于,
所述底板在接近積層用母板側的面上具有多個微細凹部,
各凹部的開口尺寸在積層用母板中包含的陶瓷粒子直徑以上和5mm以下的范圍內,各凹部的深度尺寸在積層用母板中包含的陶瓷粒子直徑以上和200μm以下的范圍內。
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