[發明專利]電容式壓力微傳感元件及制造方法與信號讀取方法無效
| 申請號： | 01119057.4 | 申請日： | 2001-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN1155807C | 公開（公告）日： | 2004-06-30 |
| 發明（設計）人： | 周正三;鄒慶福;蔡明霖;鄭元偉;邱俊誠;林煒挺 | 申請（專利權）人： | 周正三;邱俊誠 |
| 主分類號： | G01D5/24 | 分類號： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 黃敏 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 壓力 傳感 元件 制造 方法 信號 讀取 | ||
【說明書】：
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