[發(fā)明專利]電容式壓力微傳感元件及制造方法與信號讀取方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 01119057.4 | 申請日： | 2001-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN1155807C | 公開（公告）日： | 2004-06-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 周正三;鄒慶福;蔡明霖;鄭元偉;邱俊誠;林煒挺 | 申請（專利權(quán)）人： | 周正三;邱俊誠 |
| 主分類號： | G01D5/24 | 分類號： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人： | 黃敏 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電容 壓力 傳感 元件 制造 方法 信號 讀取 | ||
【權(quán)利要求書】：
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G01 測量；測試
G01D 非專用于特定變量的測量；不包含在其他單獨小類中的測量兩個或多個變量的裝置；計費設(shè)備；非專用于特定變量的傳輸或轉(zhuǎn)換裝置；未列入其他類目的測量或測試
G01D5-00 用于傳遞傳感構(gòu)件的輸出的機械裝置；將傳感構(gòu)件的輸出變換成不同變量的裝置，其中傳感構(gòu)件的形式和特性不限制變換裝置；非專用于特定變量的變換器
G01D5-02 .采用機械裝置
G01D5-12 .采用電或磁裝置
G01D5-26 .采用光學(xué)裝置，即應(yīng)用紅外光、可見光或紫外光
G01D5-42 .采用流體裝置
G01D5-48 .采用波或粒子輻射裝置
G01D 非專用于特定變量的測量；不包含在其他單獨小類中的測量兩個或多個變量的裝置；計費設(shè)備；非專用于特定變量的傳輸或轉(zhuǎn)換裝置；未列入其他類目的測量或測試
G01D5-00 用于傳遞傳感構(gòu)件的輸出的機械裝置；將傳感構(gòu)件的輸出變換成不同變量的裝置，其中傳感構(gòu)件的形式和特性不限制變換裝置；非專用于特定變量的變換器
G01D5-02 .采用機械裝置
G01D5-12 .采用電或磁裝置
G01D5-26 .采用光學(xué)裝置，即應(yīng)用紅外光、可見光或紫外光
G01D5-42 .采用流體裝置
G01D5-48 .采用波或粒子輻射裝置
