[發(fā)明專利]研磨方法和設(shè)備及該方法和設(shè)備所使用的研磨用載體有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 01117898.1 | 申請日： | 2001-04-05 |
| 公開（公告）號： | CN1162253C | 公開（公告）日： | 2004-08-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 野溝修;那須野憲二 | 申請（專利權(quán)）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;張志醒 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 方法 設(shè)備 使用 載體 | ||
【說明書】：
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