[發明專利]研磨方法和設備及該方法和設備所使用的研磨用載體有效
| 申請號： | 01117898.1 | 申請日： | 2001-04-05 |
| 公開（公告）號： | CN1162253C | 公開（公告）日： | 2004-08-18 |
| 發明（設計）人： | 野溝修;那須野憲二 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;張志醒 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 方法 設備 使用 載體 | ||
【權利要求書】：
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