[發明專利]有機場致發光元件的制造方法、有機場致發光元件

有效

• 申請號: 01112230.7
• 申請日: 2001-03-30
• 公開（公告）號: CN1320011A
• 公開（公告）日: 2001-10-31
• 發明（設計）人: 藤森南都夫;石田方哉
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H05B33/10
• 分類號: H05B33/10;H01L33/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 楊凱,葉愷東

本發明涉及有機EL(場致發光)元件的制造方法和用該方法制造的有機EL元件。

近年來，作為代替液晶顯示器的自發光型顯示器，以很快的速度進行了有機EL元件(在陽極與陰極之間設置了由有機物構成的發光層的結構的發光元件)的開發。作為有機EL元件的發光層材料，有作為低分子量的有機材料的氨基喹啉醇(Alq3)等和作為高分子量的有機材料的聚苯撐乙烯撐(PPV)等。

例如在「Appl.Phys.Lett.51.(12),21?Aeptember?1987?913頁」中所記載的那樣，利用蒸鍍法對由低分子量的有機材料構成的發光層進行成膜。例如在「Appl.Phys.Lett.71.(1),7?July?1997?34頁」中示出的那樣，利用涂敷法對由高分子量的有機材料構成的發光層進行成膜。

在大多數情況下，在有機EL元件的發光層與陽極之間設置了空穴輸送層。從陽極朝向該空穴輸送層注入空穴，空穴輸送層將該空穴輸送到發光層。在發光層有空穴輸送層的情況下，也有不設置空穴輸送層的情況。也有將空穴注入層和空穴輸送層作為不同的層來設置的情況。在用PPV等的高分子材料構成發光層時，在大多數情況下，使用了聚噻吩衍生物或聚苯胺衍生物等的導電性高分子作為空穴輸送層。在用Alq3等的低分子材料構成發光層時，在大多數情況下，使用了苯胺衍生物等作為空穴輸送層。

例如在顯示器用的有機EL元件中，必須在基板上的各像素位置上形成陽極，在各陽極上配置發光層和空穴輸送層。因而，如果能用噴墨法來進行該發光層和空穴輸送層的配置，則由于可同時進行涂敷和構圖，故可在短時間內進行精度高的構圖。而且，由于所使用的材料為必要的最小限度即可，故在消除材料的浪費、降低制造成本方面也是有效的。

為了用噴墨法來進行發光層和空穴輸送層的配置，必須使用液狀的材料，但在使用PPV等的高分子材料作為發光層材料的情況下，通過使用例如其前體溶液可進行噴墨法的配置。在特開平11-40358號公報、特開平11-54270號公報和特開平11-339957號公報中記載了用噴墨法配置由PPV等的高分子材料構成的發光層的技術。

此外，在噴墨法的情況下，通過用隔壁來包圍發光層和空穴輸送層的形成區域、朝向被該隔壁包圍的區域噴出液狀的材料，在上述區域中配置液狀的材料。作為該隔壁，例如在國際公開WO99/48229中記載了下層(基板側)由氧化硅等的無機類絕緣物構成、上層由聚酰亞胺等的有機高分子構成的二層結構的隔壁。

圖21是示出該結構的剖面圖。在基板1的各像素的位置上形成陽極，以包圍各陽極2的邊緣部的方式形成了由氧化硅構成的下層隔壁31。再者，在該下層隔壁31上形成了由聚酰亞胺構成的上層隔壁32。利用薄膜形成和構圖，以例如1～3μm的厚度(合計厚)形成了下層隔壁31和上層隔壁32。

再有，在國際公開WO99/48229中也記載了利用等離子處理對隔壁的上層的表面進行斥液化處理的情況。

但是，在上述的上層隔壁為由聚酰亞胺構成的二層結構的隔壁中，從隔壁的高度或用噴墨法噴出的液體(包含發光層形成材料的液體)與聚酰亞胺的親和性來考慮，存在隔壁附近與中央部中發光層的厚度不均勻的擔心。如果發光層的厚度不均勻，則發光色、發光量在像素內變得不均勻或變得不穩定，這樣，發光效率就降低。

此外，在紅綠藍這3色的像素相鄰地配置的彩色顯示器的情況下，必須在相鄰的像素中可靠地配置各自的液體、全部的像素內的液體不被相鄰的像素用的液體污染，但在上述的結構的隔壁中，在這一點上存在改善的余地。被污染的像素使發光色的純度下降。

再有，利用國際公開WO99/48229的方法，也能改善這些問題，但由于在該方法中必須進行等離子處理，故在成本等方面還存在改善的余地。

本發明是著眼于這樣的現有技術的問題而進行的，其課題在于：在噴墨法等的液體配置工序中進行構成有機EL元件的發光層或空穴輸送層的配置時，使液體可靠地配置在規定的區域內(不是配置在相鄰的區域中)且以均勻的厚度配置在區域內。

為了解決上述課題，本發明是一種有機EL元件的制造方法，該有機EL元件在陰極與陽極之間具有至少包含發光層的1層或2層以上的構成層，該制造方法的特征在于：具有對于至少1層的構成層、使用具有與構成層的形成區域對應的開口部的圖形、將包含構成層的形成材料的液體有選擇地配置在構成層的形成區域中的工序，在該液體配置工序中，使用具有可與膜形成面的構成原子結合的官能團和對于上述液體為斥液性的官能團的化合物，形成表面對于上述液體為斥液性的有機極薄膜圖形作為上述圖形。