[發明專利]先導式二孔真空閥

無效

• 申請號: 01111852.0
• 申請日: 2001-03-21
• 公開（公告）號: CN1314557A
• 公開（公告）日: 2001-09-26
• 發明（設計）人: 古館政一;—;谷昌生
• 申請（專利權）人: 速睦喜股份有限公司
• 主分類號: F16K24/04
• 分類號: F16K24/04
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 馬江立

本發明涉及連接在真空腔與真空泵之間、將真空腔減壓為真空壓時使用的先導式二孔真空閥。

例如，在半導體制造工序中，用真空泵把處理腔內部降到真空壓時，急劇地將大氣壓或高壓狀態的腔內加工氣體等的氣體排出時，由于大量的氣體一時地流動，所以在腔內產生氣體的亂流，附著在腔內壁上的微粒子被卷起，有可能附著在半導體晶片等的零件上。

為了避免發生該情形，現有技術中提出了以下的方案，即，在設置在連接真空腔與真空泵的流路上的真空閥上，設有錐形閥座和閥體，該錐形閥座具有向外擴開狀的錐形面，該閥體具有錐部。使該閥體沿著上述錐形閥座的中心線移動，使與上述錐面間的間隙、即閥開度漸漸變化，這樣，可限制真空腔的排氣。另外，用電空比例閥控制流體壓，使閥行程微小變化，這樣，使閥開度微小地變化。

但是，即使在上述的備有錐狀閥體和錐狀閥座的真空閥中，由于閥座的開口徑大，所以，相對于閥行程的氣體流量的增加顯著，使真空腔慢慢地排氣實際上是困難的。另外，用電空比例閥使閥開度微小變化的方法，要求電空比例閥有極高的精度，而且控制機構復雜、穩定性欠缺。

本發明是鑒于上述問題而作出的，其目的在于提供一種使流路漸漸開放、可將真空腔內慢慢排氣、構造和操作簡單、動作穩定性好的先導式二孔真空閥。

本發明的其它目的和特征，從本說明書的說明和附圖中將更清楚地了解。

為了實現上述目的，本發明的先導式二孔真空閥，備有：

用于與真空腔連接的第1孔口以及用于與真空泵連接的第二孔口；

連接上述第1孔口與第二孔口的斷面積大的主流路和斷面積比該主流路小的副流路；

開閉上述主流路的主閥體以及開閉副流路的副閥體；

通過第1軸與上述主閥體連接的第1活塞、以及通過第2軸與上述副閥體連接的第2活塞；

使開閥方向的流體壓作用到上述第1活塞的主壓力作用室、以及使開閥方向的流體壓作用到上述第2活塞的副壓力作用室；

將上述主壓力作用室與副壓力作用室相互連通的連通孔；

將壓力流體供給到上述主壓力作用室和副壓力作用室的一個操作孔口；

將上述主閥體朝關閉方向彈壓的彈力大的第1彈簧機構、以及將上述副閥體朝關閉方向彈壓的彈力小的第2彈簧機構；

上述第1活塞及第2活塞的活塞直徑與第1彈簧機構及第2彈簧機構的彈力的關系是，第2活塞比第1活塞以低的流體壓動作。

具有該構造的本發明真空閥中，當從操作孔口把所需壓力的流體供給到主壓力作用室和副壓力作用室時，第2活塞先抵抗第2彈簧機構的彈力而動作，將副閥體開放，所以，上述第1孔口和第二孔口通過斷面積小的副流路連通，氣體流量的上升小，所以真空腔緩慢地排氣。

然后，當操作孔口的流體壓力上升時，第1活塞抵抗第1彈簧機構的彈力而動作，將主閥體開放，所以，上述第1孔口與第二孔口通過斷面積大的主流路連通，促進真空腔的排氣。

因此，根據本發明的真空閥，只要從一個操作孔口供給控制了大小的壓力流體，就可以將主閥體和副閥體開放，可以使真空腔內慢慢排氣。而且，構造和操作簡單，動作穩定性好。

本發明中，上述副閥體最好由針閥構成，并且，備有連續的坡度不同的若干錐部。這樣，可以使氣體流量的上升與該針閥的開度相應地變化。

根據本發明一個具體的實施例，真空閥具有設定上述副閥體開度的設定機構，該開度設定機構，包括可調節位置的設定桿和調節該設定桿位置的調節部件，上述設定桿通過與上述第2軸或第2活塞相接，規定副閥體的開放行程端。

根據本發明另一個具體的實施例，上述主閥體具有大于副閥體的密封部直徑，上述第1活塞具有大于第2活塞的活塞直徑，上述副流路和副閥體組裝在上述主閥體內，上述第2活塞及副壓力作用室，組裝在上述第1活塞內部，上述第1軸穿過第2軸的內部。

該實施例中，設置了用于設定副閥體開度的上述開度設定機構時，上述設定桿兼作為檢測主閥體開度的檢測機構，該設定桿與第1活塞螺接，與該第1活塞一起變移，根據該第1活塞的變移量檢測上述主閥體的開度。

或者，也可以設置檢測上述主閥體及副閥體雙方開度的開度檢測機構。該檢測機構，具有與上述第1活塞及第2活塞雙方連動變移的一個檢測桿，根據該檢測桿輸出的上述第1活塞及第2活塞的變移量，檢測上述主閥體及副閥體的開度。

圖1是表示本發明一實施例的先導式二孔真空閥的、針閥的開狀態和閉狀態的斷面圖。

圖2是上述真空閥的閥開度和流體壓的特性圖。

圖3是表示本發明另一實施例中的針閥開狀態和閉狀態的要部斷面圖。