[發明專利]先導式二孔真空閥

無效

• 申請號: 01111852.0
• 申請日: 2001-03-21
• 公開（公告）號: CN1314557A
• 公開（公告）日: 2001-09-26
• 發明（設計）人: 古館政一;—;谷昌生
• 申請（專利權）人: 速睦喜股份有限公司
• 主分類號: F16K24/04
• 分類號: F16K24/04
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 馬江立

1．先導式二孔真空閥，備有：

用于與真空腔連接的第1孔口以及用于與真空泵連接的第二孔口；

連接上述第1孔口與第二孔口的斷面積大的主流路和斷面積比該主流路小的副流路；

開閉上述主流路的主閥體以及開閉副流路的副閥體；

通過第1軸與上述主閥體連接的第1活塞、以及通過第2軸與上述副閥體連接的第2活塞；

使開閥方向的流體壓作用到上述第1活塞的主壓力作用室、以及使開閥方向的流體壓作用到上述第2活塞的副壓力作用室；

將上述主壓力作用室與副壓力作用室相互連通的連通孔；

將壓力流體供給到上述主壓力作用室和副壓力作用室的一個操作孔口；

將上述主閥體朝關閉方向彈壓的彈力大的第1彈簧機構、以及將上述副閥體朝關閉方向彈壓的彈力小的第2彈簧機構；

上述第1活塞及第2活塞的活塞直徑與第1彈簧機構及第2彈簧機構的彈力的關系是，第2活塞以比第1活塞低的流體壓力動作。

2．如權利要求1所述的先導式二孔真空閥，其特征在于，上述副閥體是針閥。

3．如權利要求2所述的先導式二孔真空閥，其特征在于，上述針閥，備有連續的坡度不同的若干錐部。

4．如權利要求1所述的先導式二孔真空閥，其特征在于，該真空閥具有設定上述副閥體開度的機構，該開度設定機構，包括可調節位置的設定桿和調節該設定桿位置的調節部件，上述設定桿通過與上述第2軸或第2活塞相接，規定副閥體的開放行程端。

5．如權利要求1所述的先導式二孔真空閥，其特征在于，上述主閥體具有大于副閥體的密封部直徑，上述第1活塞具有大于第2活塞的活塞直徑，上述副流路和副閥體組裝在上述主閥體內，上述第2活塞及副壓力作用室，組裝在上述第1活塞內部，上述第1軸穿過第2軸的內部。

6．如權利要求5所述的先導式二孔真空閥，其特征在于，上述副閥體是針閥。

7．如權利要求6所述的先導式二孔真空閥，其特征在于，上述針閥備有連續的坡度不同的若干錐部。

8．如權利要求5所述的先導式二孔真空閥，其特征在于，該真空閥具有設定上述副閥體開度的機構，該開度設定機構，包括可調節位置的設定桿和調節該設定桿位置的調節部件，上述設定桿通過與上述第2軸或第2活塞相接，規定副閥體的開放行程端；上述設定桿兼作為檢測主閥體開度的檢測機構，該設定桿與上述第1活塞螺接，與該第1活塞一起變移，從該第1活塞的變移量檢測出主閥體的開度。

9．如權利要求5所述的先導式二孔真空閥，其特征在于，該真空閥具有檢測上述主閥體和副閥體開度的機構，該開度檢測機構具有與上述第1活塞和第2活塞雙方連動而變移的一個檢測桿，根據該檢測桿輸出的上述第1活塞和第2活塞的變移量，檢測出上述主閥體和副閥體的開度。