[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的電源電流測量單元

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 01110514.3
• 申請日: 2001-04-05
• 公開（公告）號: CN1320824A
• 公開（公告）日: 2001-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 菅森茂
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社鼎新
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R19/00
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 蹇煒

1．一種設(shè)置在一個半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的電源電流測量單元，用于測量流過被測器件的電源電流，包括：

一個D/A(數(shù)字到模擬)轉(zhuǎn)換器，基于接收到的數(shù)字信號，產(chǎn)生電源電壓供給被測器件；

一個運(yùn)算放大器，用于形成負(fù)反饋回路，并且把電源電壓從D/A轉(zhuǎn)換器提供給被測器件的電源引線，由此通過一個已知電阻值的電流測量電阻器，把電源電流提供給電源引線。

一個電壓放大器，把代表提供給被測器件的電源電流量的電壓進(jìn)行放大；

一個積分電路，在預(yù)定的積分時間內(nèi)，將電壓放大器的輸出信號進(jìn)行積分；和

一個A/D(模擬到數(shù)字)轉(zhuǎn)換器，用來在積分時間之后，對積分電路的輸出信號進(jìn)行轉(zhuǎn)換。

2．按照權(quán)利要求1所述的電源電流測量單元，其中，一個時鐘信號通過半導(dǎo)體測試系統(tǒng)被提供給被測器件，以激活被測器件的操作，并且通過電源電流測量，對由時鐘信號引起的電源電流的平均值，進(jìn)行測量。

3．按照權(quán)利要求1所述的電源電流測量單元，其中，積分電路包括一個開關(guān)，其中，通過打開(opening)開關(guān)在一段預(yù)定的時間長度內(nèi)進(jìn)行積分。

4．一種半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，它提供一個測試信號給被測半導(dǎo)體器件，并且對被測器件的響應(yīng)輸出結(jié)果進(jìn)行評估，由此來測試半導(dǎo)體器件，該半導(dǎo)體測試系統(tǒng)包括：

一個測試信號發(fā)生裝置，基于預(yù)先準(zhǔn)備的事件數(shù)據(jù)，給被測器件產(chǎn)生測試信號；

一個插針電子裝置，設(shè)置在測試信號發(fā)生裝置和被測器件之間，該裝置有一個把測試信號提供給被測器件的驅(qū)動器，該測試信號具有預(yù)定的振幅，該裝置還有一個把被測器件的響應(yīng)輸出與預(yù)定參考電壓進(jìn)行比較的比較器，和

一個要么設(shè)置在插針電子裝置內(nèi)部，要么設(shè)置在插針電子裝置外部，用來對被測器件的電源電流進(jìn)行測量的電源電流測量單元；

其中，電源電流測量單元包含：一個D/A轉(zhuǎn)換器，它基于接收到的數(shù)字信號，產(chǎn)生一個要被提供給被測器件的電源電壓；一個操作放大器，用來形成負(fù)反饋回路并且把電源電壓從D/A轉(zhuǎn)換器提供給被測器件的電源引線，由此通過一個已知電阻值的電流測量電阻器，把電源電流提供給電源引線；一個電壓放大器，用來把代表提供給被測器件的電源電流的電壓進(jìn)行放大；一個積分電路，用來在預(yù)定積分時間內(nèi)，對電壓放大器的輸出信號進(jìn)行積分；和一個A/D轉(zhuǎn)換器，用來在積分時間之后，轉(zhuǎn)換積分電路的輸出信號。

5．按照權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中，一個時鐘信號通過半導(dǎo)體測試系統(tǒng)被提供給被測器件，以激活被測器件的操作，并且通過電源電流測量，對由時鐘信號引起的電源電流的平均值，進(jìn)行測量。

6．按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，進(jìn)一步包括縮放功能，該功能可以通過一個任意的系數(shù)，改變事件數(shù)據(jù)中的定時數(shù)據(jù)，并且其中，利用縮放功能調(diào)整從半導(dǎo)體測試系統(tǒng)到被測器件的時鐘信號的重復(fù)率，由此把時鐘信號調(diào)節(jié)到與電源電流測量單元的操作速度相等的重復(fù)率。

7．按照權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，進(jìn)一步包括縮放功能，它用任意的系數(shù)改變事件數(shù)據(jù)中的定時數(shù)據(jù)，其中，利用縮放功能調(diào)整從半導(dǎo)體測試系統(tǒng)到被測器件的時鐘信號的重復(fù)率，由此把時鐘信號調(diào)節(jié)到一個與電源電流測量單元的操作速度相等的重復(fù)率，這使得時鐘信號周期與電源電流測量單元中積分電路開關(guān)的開/關(guān)操作同步，由此對時鐘信號的特定階段所對應(yīng)的電源電流進(jìn)行測量。

8．按照權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，進(jìn)一步包括：一個用來存儲事件數(shù)據(jù)的事件存儲器，該事件數(shù)據(jù)描述了每個事件的定時；一個提供地址數(shù)據(jù)給事件存儲器的地址序列發(fā)生器；以及基于事件存儲器中的事件數(shù)據(jù)而產(chǎn)生測試信號的裝置。