[發明專利]特定用途的基于事件的半導體存儲器測試系統

無效

• 申請號: 01109769.8
• 申請日: 2001-04-12
• 公開（公告）號: CN1321892A
• 公開（公告）日: 2001-11-14
• 發明（設計）人: 菅森茂
• 申請（專利權）人: 株式會社鼎新
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G11C29/00;H01L21/66
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 蹇煒

本發明涉及一種半導體測試系統，用于測試半導體集成電路，例如大規模集成(LSI)電路，更具體地說，是涉及一種低成本的半導體測試系統，該系統具有基于事件的測試器結構，其設置專用于測試特定型號的存儲器件。本發明之基于事件的半導體存儲器測試系統是通過自由組合多個性能相同或不同的測試器模塊和一個算法模式產生模塊而構成，該算法模式產生模塊用于具體針對想要測試的存儲器件產生一個算法測試模式，從而建立一低成本測試系統。除了安裝在該測試系統的一主機中的該測試器模塊和算法模式產生模塊之外，還有一個只對于被測試的存儲器才有的功能模塊，該模塊可以安裝在測試固定裝置中，從而構成一存儲器測試系統，該系統既能實現存儲器測試，又能實現與存儲器測試相關的特別處理。

圖1是表示一半導體測試系統之示例的示意方框圖，該系統為常規技術中用于測試半導體集成電路(“被測器件”或“DUT”)的系統，也稱為IC測試器。

在圖1的示例中，一測試處理器11是一個專用的處理器，它設置于該半導體系統內，通過測試器總線TB以控制該測試系統的運行。根據測試處理器11的模式數據，一模式產生器12提供時序數據和波形數據分別給一時序發生器13和一波格式器14。測試模式由波格式器14采用模式產生器12的波形數據和時序發生器13的時序數據而產生，該測試模式通過驅動器15被提供給被測器件(DUT)。

在這種情況，被測器件(DUT)19是一存儲器件，用于該DUT的測試模式包括地址數據、寫入數據和控制數據。在該DUT的預定地址中寫入預定數據后，地址中的數據被讀出，以確定在存儲器中的數據是否與該寫入數據相同。

更具體地說，通過一模擬比較器16以一預定的起點電壓為基準，把從該DUT19中讀出的數據轉換為邏輯信號；由邏輯(模式)比較器17，對該邏輯信號與所期望的、來自模式產生器12的數據值(寫入數據)進行比較。該邏輯比較的結果被存儲在故障存儲器18并在以后的故障分析階段被用到，該存儲器18對應于該DUT的地址。在這種存儲器測試中，用于寫入或讀出被測試存儲器件的地址數據和寫入數據可以是一個模式，該模式由一個基于數學算法的序列而產生。這樣一個模式產生算法將根據特定的被測試存儲器件之物理結構和測試目的而選擇。

以上提到的電路結構被設置到該半導體測試系統的每一測試引線。因此，由于大規模半導體測試系統有大量的測試引線，例如從256個測試引線到2048個測試引線，相同數量的、如圖1所示的電路結構被組合起來，實際的半導體測試系統成為一個很大的系統。圖2所示為這樣一個半導體測試系統的外觀的一個示例。該半導體測試系統主要由一主機22、測試頭24和工作站26組成。該工作站26是一臺計算機，例如，配置有圖形用戶接口(GUI)，其功能是作為該測試系統與用戶之間的接口。該測試系統的運行、測試程序的產生及測試程序的執行都是通過工作站26而被實施。主機22包括大量的測試引線，每一個都具有如圖1所示的測試處理器11、模式產生器12、時序發生器13、波格式器14和比較器17。

測試頭24包括大量的印刷電路板，每一電路板都具有如圖1所示的引線電子線路20。驅動器15、模擬比較器16和用于切換被測器件引線的開關(未示出)被設置于引線電子線路20中。例如，測試頭24為圓柱形，其中構成引線電子線路20的印刷電路板呈放射狀排列。在測試頭24的上表面，被測器件19被插入在操作板28之中心附近的測試槽中。

在引線電子線路20和操作板28之間，設置有一引線(測試)固定裝置27，該固定裝置27是一個接觸式結構，用于通過它傳送電信號。引線固定裝置27包括大量的接觸器，例如pogo引線(pogo-pin)，用于電連接引線電子線路20和操作板28。如以上所提到的，被測器件19從引線電子線路接收測試模式，并產生應答輸出信號。

在常規的半導體測試系統中，為了產生施加于被測器件的測試模式，該測試數據已被采用，它由被稱之為基于周期的格式(cyclebased?format)來描述。在該基于周期的格式中，每一個在該測試模式中可變的格式是針對半導體測試系統的每一測試周期(測試器頻率)而被描述。更明確地說，在該測試數據中的測試周期(測試器頻率)描述、波形(波形種類、邊緣時序)描述和向量描述詳細說明了在特定測試周期中的測試模式。