[發明專利]特定用途的基于事件的半導體存儲器測試系統

無效

• 申請號: 01109769.8
• 申請日: 2001-04-12
• 公開（公告）號: CN1321892A
• 公開（公告）日: 2001-11-14
• 發明（設計）人: 菅森茂
• 申請（專利權）人: 株式會社鼎新
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G11C29/00;H01L21/66
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 蹇煒

1、一種半導體測試系統，包括：

兩個或更多個測試器模塊，它們的性能彼此相同或不同；

一算法模式產生器(ALPG)模塊，用于產生算法模式，該算法模式對于被測器件中的存儲器是特定的；

一測試系統主機，用于在其中容納測試器模塊和ALPG模塊的任意組合；

一測試固定裝置，設置于該測試系統主機上，用于電連接該測試器模塊和被測器件；

一操作板，設置在測試固定裝置上，用于安裝被測器件；及

一主計算機，通過經測試器總線與該測試系統中的測試器模塊進行通信，該主計算機用于控制該半導體測試系統總的運行。

2、根據權利要求1所述的半導體測試系統，其中，當被測器件包括邏輯功能和存儲功能時，該多個測試器模塊包括用于對被測器件進行邏輯測試的邏輯測試器模塊和進行存儲測試的存儲測試器模塊，從而實現同時以并行方式的邏輯測試和存儲測試。

3、根據權利要求1所述的半導體測試系統，其中還包括安裝在測試固定裝置中的功能模塊，該模塊是特為被測器件中的存儲器之功能而設計的。

4、根據權利要求3所述的半導體測試系統，其中的功能模塊是一個存儲修復模塊，用于確定一個修復算法以在存儲器中執行存儲修復處理。

5、根據權利要求1所述的半導體測試系統，其中的ALPG模塊由現場可編程門陣列(FPGA)組成。

6、根據權利要求2所述的半導體測試系統，其中的ALPG模塊通過由流水線組成的數據傳輸裝置，將用于產生算法模式的事件數據轉送到存儲測試器模塊。

7、根據權利要求1所述的半導體測試系統，其中用于連接測試固定裝置和測試器模塊的規格被標準化。

8、根據權利要求1所述的半導體測試系統，其中，許多測試器引線被可變地分配給測試器模塊。

9、根據權利要求1所述的半導體測試系統，其中，許多測試器引線被可變地分配給測試器模塊，這種測試引線的分配及其修改由來自主計算機的地址數據進行調整。

10、根據權利要求1所述的半導體測試系統，其中，每一個測試器模塊包括多個事件測試器板，每一個事件測試器板被分配至預定數量的測試引線。

11、根據權利要求1所述的半導體測試系統，其中，每一個測試器模塊包括一內部控制器，其中，該內部控制器根據主計算機發來的指令，由測試器模塊產生一個測試模式，并鑒定被測器件的輸出信號。

12、根據權利要求10所述的半導體測試系統，其中，每一個測試器模塊包括多個事件測試器板，其中每一個事件測試器板包括一內部控制器，根據主計算機的指令，該內部控制器控制自該測試器模塊產生一個測試模式，并鑒定被測器件的輸出信號。

13、根據權利要求1所述的半導體測試系統，其中，每一個測試器模塊包括多個事件測試器板，每一事件測試器板被分配至一個測試引線，其中每一事件測試器板包括：

一控制器，根據主計算機的指令，控制由測試器模塊產生測試模式，并鑒定被測器件的輸出信號；

一事件存儲器，用于存儲對于每一事件的時序數據；

一地址序列發生器，在該控制器的控制下，用于提供地址數據給事件存儲器；

根據事件存儲器的時序數據而用于產生測試模式的裝置；及

一驅動器/比較器，用于將測試模式轉送到被測器件的相應的引線，并接收被測器件的響應輸出信號。

14、一種半導體測試系統，包括：

兩個或更多個測試器模塊，它們的性能彼此相同或不同；

一算法模式產生器(ALPG)模塊，用于產生算法模式，該算法模式對于被測器件中的存儲器是特定的；

一測試系統主機，用于在其中容納測試器模塊和ALPG模塊的任意組合；

一測試固定裝置，設置于該測試系統主機上，用于電連接該測試器模塊和被測器件；

一功能模塊，設置于該測試固定裝置中，用于實現與被測器件中存儲器的性質有關的功能；

一操作板，設置在測試固定裝置上，用于安裝被測器件；及

一主計算機，通過經測試器總線與該測試系統中的測試器模塊進行通信，該主計算機用于控制該測試系統總的運行。