[發明專利]具抗靜電效應的光罩無效
| 申請號： | 01104345.8 | 申請日： | 2001-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN1372321A | 公開（公告）日： | 2002-10-02 |
| 發明（設計）人： | 徐震球;鐘振輝;林義雄 | 申請（專利權）人： | 矽統科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/60 | 分類號： | H01L23/60;H05F3/04 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 過曉東 |
| 地址： | 中國*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 抗靜電 效應 | ||
【權利要求書】：
1、一種具抗靜電效應的光罩，包含：
一基座；
一鉻膜，位于該基座表面，用于表示電路圖案；及
一高分子聚合物層，涂布于該基座及鉻膜的表面，具有透光性及微導電性；
通過涂布該高分子聚合物，可使該光罩不致因靜電累積而損毀。
2、如權利要求1所述的光罩，其中該高分子聚合物層的導電度是于每厘米50至2000S之間。
3、如權利要求1所述的光罩，其中高分子聚合物層的材料是選自聚乙炔、聚吡咯、聚噻吩、聚苯硫醚或聚呋喃。
4、如權利要求1所述的光罩，其中該鉻膜及高分子聚合物層之間還包含一氧化鉻層，用以防止該鉻膜在曝光時的反射現象。
5、如權利要求1所述的光罩，其中該基座為一二氧化硅玻璃。
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