[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體器件個性化的裝置與方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 00816201.8
• 申請日: 2000-11-24
• 公開（公告）號: CN1399796A
• 公開（公告）日: 2003-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 托布喬恩·桑德斯托姆
• 申請（專利權(quán)）人: 微激光系統(tǒng)公司
• 主分類號: H01L23/544
• 分類號: H01L23/544
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 王永剛

發(fā)明領(lǐng)域

本發(fā)明涉及通過光刻法生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片及其它器件。尤其是涉及生產(chǎn)帶有唯一的編碼或其它唯一的視覺的、光學(xué)的或電子的特征的器件。在不同的意義上本發(fā)明涉及器件本身及器件的設(shè)計過程。本發(fā)明的再另一個方面是建立攜帶電子簽名或密匙的防竄改的工具。本發(fā)明還涉及跟蹤電子裝置與系統(tǒng)的可靠性。最后本發(fā)明的一個重要方面涉及再組合包括幾個設(shè)計類型或冗余功能單元的器件，例如用于模擬芯片上的參數(shù)實驗。

發(fā)明背景

半導(dǎo)體芯片及表面聲波器件、薄膜磁頭與類似器件的現(xiàn)代生產(chǎn)通過分步機制成。現(xiàn)代分步機使用縮小4倍的激發(fā)物激光器作為照射源，并在曝光期間在掃描晶片與標(biāo)線板(reticle)時使用分步與掃描原理。在本文中將把任何類型的分步機稱為分步機(stepper)或在區(qū)別是重要的場合下稱為掃描分步機。

分步機的重要特性是它通過在每個曝光地點曝光同一掩模產(chǎn)生同一單元芯片(die)的相同的復(fù)制品。通過以有效的方法這樣做，它提供高的生產(chǎn)率與生產(chǎn)經(jīng)濟性。在有些場合與情況下，例如在研究與開發(fā)(R&D)中的參數(shù)檢驗，各芯片應(yīng)不相同。因此迫使制造者采用復(fù)雜的程序，如在電子束圖案發(fā)生器中寫入一部分圖案或進行器件的聚焦電子束修改。

在其它情況下需要對每個芯片提供一個唯一的簽名(signature)或代碼或編程。包括這些代碼的一個通用方法是通過使用電子可編程電路，常通過可逆地或不可逆地改變浮柵電極的電位，或通過可編程的熔鏈或所謂的抗熔鏈。在任何情況下都有額外的處理步驟、額外的制造費用與/或額外的有關(guān)的驅(qū)動。

發(fā)明概述

因此本發(fā)明的一個目的是提供一種減輕現(xiàn)有技術(shù)中所述缺點的方法與裝置。

此目的借助根據(jù)附錄的權(quán)利要求書的本發(fā)明而實現(xiàn)。

本發(fā)明提供一種以一個招致很少額外費用的標(biāo)準(zhǔn)程序完成這些唯一的編程的方法。本發(fā)明使每個芯片實際上能有一個可視或可電子讀出的唯一的代碼。此代碼可用作處理器的系列號，供在聯(lián)網(wǎng)的裝置中自組合之用或供在制造期間將缺陷與錯誤跟蹤回到批次、晶片與芯片之用，從而提供用于質(zhì)量改進的數(shù)據(jù)。

本發(fā)明的另一方面是提供一個能包括在任何標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計內(nèi)以提供可目視或可電子讀出的代碼或芯片唯一編程的設(shè)計塊。此設(shè)計塊能提供一個布局塊與一個一起提供曝光時所要求的編程的計算機程序或數(shù)據(jù)編譯的組合。本發(fā)明提供一種借助它能在設(shè)計時規(guī)定并以自動方式執(zhí)行的代碼產(chǎn)生的方法。

本申請中到處可互換地使用編碼、編程與個性化(personalization)以表示建立不同的晶片單元或芯片之間不同的功能。寫入代碼或編程的設(shè)備或附件稱為代碼寫入機。

附圖簡述

為了舉例說明的目的，將在下面較詳細(xì)地參照各附圖中圖示說明的各實施例描述本發(fā)明。

圖1表示采用分步與掃描系統(tǒng)類型的代碼寫入機與使用激光掃描器的代碼寫入附件的優(yōu)選實施例(1a)和使用空間光調(diào)制器(SLM)的代碼寫入附件的優(yōu)選實施例(1b)。

圖2表示一個圖1中晶片的放大圖。

圖3表示怎樣使用兩種代碼寫入組件在單個分步機場內(nèi)編程16個相同的單元芯片。

圖4表示設(shè)計信息流。

圖5表示代碼寫入機窗口在掃描分步機中的可能部位(5a)與在步進分步機中的可能部位(5b)。5c表示在系統(tǒng)中有光束組合器情況下的可能部位。

圖6表示一個供串行輸出編程代碼用的簡單設(shè)計塊。

發(fā)明詳述

本發(fā)明提供產(chǎn)生唯一的電子器件的元件，尤其是半導(dǎo)體芯片。唯一性可由一個ID代碼、一個可目視標(biāo)志、一個嵌入的密匙或芯片的任何其它唯一的特征組成。其它用途可用于產(chǎn)生一個唯一地編碼的表面聲波濾波器或類似于信用卡上的全息區(qū)域的光保密器件。一個重要的應(yīng)用是用于可試驗一個塊的幾種類型的R&D工作，例如一個模擬放大器的4個設(shè)計，或通過在同樣的芯片內(nèi)包括幾個設(shè)計而每個芯片中只連接其中之一，或有代碼寫入機以不相同地寫入元件，例如在不同芯片中帶有不同寬度的晶體管。可有許多其它的用途，其中有些是新的或難以預(yù)知的，因為本發(fā)明使表征標(biāo)準(zhǔn)芯片的附加的個性化的費用很低。一個這樣的新用途的例子是帶有電子簽(electronic?lot)或標(biāo)記的彩票。