[發明專利]感光元件、感光元件輥、使用其的抗蝕圖形的制法、抗蝕圖形、抗蝕圖形的積層片、布線圖形的制法及布線圖形

有效

• 申請號: 00809410.1
• 申請日: 2000-06-21
• 公開（公告）號: CN1358281A
• 公開（公告）日: 2002-07-10
• 發明（設計）人: 千葉達男;市川立也
• 申請（專利權）人: 日立化成工業株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/033;H05K3/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 黃永奎

技術領域

本發明涉及感光元件、感光元件輥、使用其的抗蝕圖形的制法、抗蝕圖形、抗蝕圖形的積層片、布線圖形的制法及布線圖形。

背景技術

過去，在印刷布線板的制造、金屬的精密加工等領域中，作為用于蝕刻和電鍍等的抗蝕材料，廣泛地使用感光性樹脂組合物及感光元件。

感光元件通常由光透過性的支撐膜、感光性樹脂組合物層、保護膜三層構成。作為其使用方法一般可舉出如下的方法，即，首先剝離保護膜后，感光性樹脂層以直接接觸進行壓接(層壓)，粘接在光透過性膜上形成圖形的底片，照射(曝光)活性光線(多半使用紫外線)，然后噴射有機溶劑或堿水溶液，除去不需要部分，以此形成(顯影)抗蝕圖形。尤其從環境等方面出發，要求作為顯影液使用堿水溶液。

近年來，正在推進電子機器的小型化和輕量化。印刷布線板也要求電路的微細化、抗蝕圖形也要求細線化，感光元件也要求高分辨率化。然而，已有的由三層結構構成的感光性元件不能滿足這種要求。即，由于通過光透過性支撐膜進行曝光，所以為了得到高分辨率，需要將該膜的厚度盡可能地作薄。另一方面，為了發揮作為涂布感光性樹脂組合物時的支撐體的作用要求其具有一定程度的自身保持性，一般需要有15-25μm的厚度。因此，使用已有的等級的光透過性支撐膜，則達不到高分辨率要求，這就是現狀。

針對這些要求，為了達到高分辨率，進行了各種試驗。例如，可舉出：在曝光前，剝離支撐膜，在感光性樹脂組合物層上直接粘合底片的方法。通常，感光性樹脂組合物層以粘合在基材上的方式保持一定程度的粘合性。因此，若直接地適用該法，則有下列問題，即，底片與感光性樹脂組合物層粘合，難于剝離底片，降低作業性，感光樹脂污染底片，由于阻礙了空氣中的氧，感光度下降等問題。

因此，作為改進這種方法的試驗，將感光性樹脂組合物層作成2層以上，并將與底片直接接觸的層作成非粘合性層(特開昭61-31855號公報、特開平1-221735號公報、特開平2-230149號公報等)。然而，這種方法為了使感光性樹脂組合物層多層化，涂布要花時間，而且對感光度下降也不起作用。

此外，作為另一種方法，在感光性樹脂組合物層上設置中間層，以克服這些缺點的試驗公開于特公昭56-40824號公報、特公昭55-501072號公報、特公昭54-12215號公報、特公昭47-469號公報、特公昭59-97138號公報、特公昭59-216141號公報、特公昭63-197942號公報等。然而，所有這些專利文獻均必需在支撐膜與感光性樹脂組合物層之間設置中間層，涂布也需花費時間，而且對薄的中間層難于處理。

本發明的目的是，提供一種抗蝕圖形側面鋸齒形刻紋性、抗蝕圖形上面的平整性、分辨率、粘合性、堿顯影性、生產率及作業性優異、不良腐蝕數少的感光元件。

本發明的目的是，還提供一種發揮上述效果、抗蝕圖形側面鋸齒形刻紋性優異的感光元件。

本發明的目的是，還提供一種發揮上述效果、分辨率優異的感光性元件。

本發明的目的是，還提供一種除上述效果外，層壓時感光元件的尺寸變化性優異的感光元件。

本發明的目的是，還提供一種除上述發明效果外，抗蝕固化后的膜強度優異的感光性元件。

本發明的目的是，還提供一種除上述發明效果外，剝離性優異的感光元件。

本發明的目的是，還提供一種除上述效果外，耐電鍍性優異的感光元件。

本發明的目的是，還提供一種除上述效果外，粘合性優異的感光元件。

本發明的目的是，還提供一種除上述效果外，保管時的冷流性優異的感光元件。

本發明的另一目的是，還提供一種抗蝕圖形的側面鋸齒形刻紋性、抗蝕圖形上面的平整性、分辨率、粘合性、堿顯影性、輸送時卷繞誤差性、生產率及作業性優異、不良腐蝕數少的感光元件輥。

本發明的目的是，提供一種抗蝕圖形的側面鋸齒形刻紋性、抗蝕圖形上面的平整性、分辨率、粘合性、堿顯影性、輸送時卷繞誤差性、生產率及作業性優異、不良腐蝕數少的感光元件輥。

本發明的再另一目的是，抗蝕圖形的側面鋸齒形刻紋性、抗蝕圖形上面的平整性、分辨率、粘合性、生產率及作業性優異、不良腐蝕數少的抗蝕圖形的制法。

本發明的再一目的是，提供一種抗蝕圖形的側面鋸齒形刻紋性、抗蝕圖形上面的平整性、分辨率、粘合性、生產率及作業性優異、不良腐蝕數少的抗蝕圖形。

本發明的再一目的是，提供一種抗蝕圖形的側面鋸齒形刻紋性、抗蝕圖形上面的平整性、分辨率、粘合性、生產率及作業性優異、不良腐蝕數少的抗蝕圖形積層基片。