[發(fā)明專利]感光元件、感光元件輥、使用其的抗蝕圖形的制法、抗蝕圖形、抗蝕圖形的積層片、布線圖形的制法及布線圖形

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 00809410.1
• 申請日: 2000-06-21
• 公開（公告）號: CN1358281A
• 公開（公告）日: 2002-07-10
• 發(fā)明（設計）人: 千葉達男;市川立也
• 申請（專利權）人: 日立化成工業(yè)株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/033;H05K3/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 黃永奎

1.一種感光元件，由在雙軸取向聚酯膜及其一面上具有感光性樹脂組合物層的支撐膜構成，其特征是，在與形成該支撐膜的所述感光性樹脂組合物層的面的對面上具有含微粒子的樹脂層，所述感光性樹脂組合物含有：

(A)含羧基的粘合劑聚合物；

(B)分子內有至少一種可聚合的烯類不飽基團的光聚合性化合物，以及

(C)光聚合引發(fā)劑。

2.一種感光元件，在支撐膜上具有感光性樹脂組合物層，支撐膜橫向的200℃、30分鐘的熱收縮率為0.00-4.00％，所述感光性樹脂組合物含有：

(A)含羧基的粘合劑聚合物；

(B)分子內有至少一種可聚合的烯類不飽基團的光聚合性化合物，以及

(C)光聚合引發(fā)劑。

3.根據權利要求2所述的感光元件，支撐膜橫向的150℃、30分鐘的熱收縮率為0.00-0.20％。

4.根據權利要求2所述的感光元件，支撐膜橫向的105℃、30分鐘的熱收縮率為0.00-0.20％。

5.一種感光元件，在支撐膜上具有感光性樹脂組合物層，支撐膜橫向的150℃、30分鐘的熱收縮率為0.00-0.20％，所述感光性樹脂組合物含有：

(A)含羧基的粘合劑聚合物；

(B)分子內有至少一種可聚合的烯類不飽基團的光聚合性化合物，以及

(C)光聚合引發(fā)劑。

6.根據權利要求5所述的感光元件，支撐膜橫向的105℃、30分鐘的熱收縮率為0.00-0.20％。

7.一種感光元件，支撐膜上具有感光性樹脂組合物層，支撐膜的水的接觸角(°)應滿足下列數式(1)：

(X面的接觸角)/(Y面的接觸角)＞1.1????(1)

X面：涂布、干燥感光性樹脂組合物的面；

Y面：涂布、干燥感光性樹脂組合物面對側的面；

所述感光樹脂組合物含有：

(A)含羧基的粘合劑聚合物；

(B)分子內有至少一種可聚合的烯類不飽基團的光聚合性化合物，以及

(C)光聚合引發(fā)劑。

8.根據權利要求2所述的感光元件，支撐膜為在雙軸取向聚酯膜的一側面上積層了含微粒子樹脂層的支撐膜，在已形成所述樹脂層的對面上涂布、干燥感光性樹脂組合物層。

9.根據權利要求1所述的感光元件，微粒子的平均粒徑為0.01-5.0μm。

10.根據權利要求1所述的感光元件，含有微粒子的樹脂層厚度為0.05-5.0μm。

11.根據權利要求1所述的感光元件，支撐膜的濁度為0.01-5.0％。

12.根據權利要求1所述的感光元件，支撐膜縱向的105℃、30分鐘的熱收縮率為0.30-0.60％。

13.根據權利要求1所述的感光元件，支撐膜縱向的150℃、30分鐘的熱收縮率為1.00-1.90％。

14.根據權利要求1所述的感光元件，支撐膜縱向的200℃、30分鐘的熱收縮率為3.00-6.50％。

15.根據權利要求1所述的感光元件，(A)含有羧基的粘合劑聚合物的重均分子量為20,000-300,000。

16.根據權利要求1所述的感光元件，(A)含有羧基的粘合劑聚合物的酸值為50-300mg?KOH/g。

17.根據權利要求1所述的感光元件，作為(B)光聚合性化合物含有雙酚A類(甲基)丙烯酸酯化合物。

18.根據權利要求1所述的感光元件，作為(C)光聚合引發(fā)劑含有2，4，5-三芳基咪唑二聚物。

19.根據權利要求1所述的感光元件，(A)成分、(B)成分及(C)成分的配合量為：

(A)成分對(A)成分及(B)成分的總量100重量份為40-80重量份；

(B)成分對(A)成分及(B)成分的總量100重量份為20-60重量份，以及

(C)成分對(A)成分及(B)成分的總量100重量份為0.01-20重量份。