[實用新型]化學氣相沉積金剛石均質噴嘴

無效

• 申請號: 00236609.6
• 申請日: 2000-05-24
• 公開（公告）號: CN2423289Y
• 公開（公告）日: 2001-03-14
• 發明（設計）人: 周兵;陳繼鋒;劉志平;劉廣錄;郭松壽;張柏春
• 申請（專利權）人: 北京天地東方金剛石技術有限責任公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 湯保平

1．一種化學氣相沉積金剛石均質噴嘴，其特征在于，是包含有：

一進料均質片，在該進料均質片的中間位置開有兩個進料口；

一共振均質片，在該共振均質片的中間位置開有一共振腔口；

一出料均質片，在該出料均質片的中間位置開有一出料口；

所述進料均質片、共振均質片、出料均質片依次疊置形成均質噴嘴。

2．根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積金剛石均質噴嘴，其特征在于，其中該進料均質片、共振均質片、出料均質片均為由化學氣相沉積金剛石制作的圓形，在該進料均質片、共振均質片、出料均質片的外周焊接制作有一圈金屬環形基體。

3．根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積金剛石均質噴嘴，其特征在于，其中該進料均質片中間的兩個進料口為圓形或橢圓形。

4．根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積金剛石均質噴嘴，其特征在于，其中該共振均質片中間的共振腔口為長方形或兩端為弧形的矩形。

5．根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積金剛石均質噴嘴，其特征在于，其中該出料均質片中間的出料口為圓形或橢圓形。