[實(shí)用新型]化學(xué)氣相沉積金剛石均質(zhì)噴嘴

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 00236609.6
• 申請(qǐng)日: 2000-05-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN2423289Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2001-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周兵;陳繼鋒;劉志平;劉廣錄;郭松壽;張柏春
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京天地東方金剛石技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/27
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/27
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 湯保平

本實(shí)用新型是提供一種金剛石均質(zhì)噴嘴，特別是一種化學(xué)氣相沉積(CVD)金剛石均質(zhì)噴嘴。

金剛石均質(zhì)噴嘴是用于納米材料生產(chǎn)的關(guān)鍵部件。

目前習(xí)用的金剛石均質(zhì)噴嘴，是為兩片結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括一前片1及一后片2，在前片1上開(kāi)有兩個(gè)進(jìn)料孔11，在前片1的一面兩個(gè)進(jìn)料孔11之間開(kāi)有一溝槽12，該溝槽12將兩個(gè)進(jìn)氣孔連通；在后片2的中心開(kāi)有一出氣孔21，當(dāng)前片1及后片2疊置時(shí)，該進(jìn)料孔11經(jīng)溝槽12可與出氣孔21連通，而形成噴嘴。前述的噴嘴具有如下缺點(diǎn)，首先該噴嘴所采用的材料是為天然金剛石材料，不僅價(jià)格昂貴，而且因其硬度高所以加工非常困難，尤其是前片1上的溝槽12加工最為困難。因其加工難度大所以溝槽12的尺寸不易掌握，也就是加工精度不高，所以噴嘴的質(zhì)量很難提高。

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種化學(xué)氣相沉積金剛石均質(zhì)噴嘴，其具有便于加工、質(zhì)量穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種化學(xué)氣相沉積金剛石均質(zhì)噴嘴，因其采用化學(xué)氣相沉積(CVD)金剛石，所以具有成本低的優(yōu)點(diǎn)。

緣以達(dá)成上揭目的，本實(shí)用新型所提供的一種化學(xué)氣相沉積金剛石均質(zhì)噴嘴，是包含有：一進(jìn)料均質(zhì)片，在該進(jìn)料均質(zhì)片的中間位置開(kāi)有兩個(gè)進(jìn)料口；一共振均質(zhì)片，在該共振均質(zhì)片的中間位置開(kāi)有一共振腔口；一出料均質(zhì)片，在該出料均質(zhì)片的中間位置開(kāi)有一出料口；所述進(jìn)料均質(zhì)片、共振均質(zhì)片、出料均質(zhì)片依次疊置形成均質(zhì)噴嘴。

其中該進(jìn)料均質(zhì)片、共振均質(zhì)片、出料均質(zhì)片均為由化學(xué)氣相沉積金剛石制作的圓形，在該進(jìn)料均質(zhì)片、共振均質(zhì)片、出料均質(zhì)片的外周焊接制作有一圈金屬環(huán)形基體。

其中該進(jìn)料均質(zhì)片中間的兩個(gè)進(jìn)料口為圓形或橢圓形。

其中該共振均質(zhì)片中間的共振腔口為長(zhǎng)方形或兩端為弧形的矩形。

其中該出料均質(zhì)片中間的出料口為圓形或橢圓形。

有關(guān)本實(shí)用新型的詳細(xì)構(gòu)造、功用及特點(diǎn)，可由以下實(shí)施例配合附圖的詳細(xì)說(shuō)明而得以充分了解，其中：

圖1是習(xí)用噴嘴的示意圖；

圖2是本實(shí)用新型噴嘴的分解圖；

圖3是圖2的結(jié)構(gòu)原理圖，顯示本實(shí)用新型的工作狀態(tài)。

請(qǐng)參閱圖2與圖3所示，本實(shí)用新型化學(xué)氣相沉積金剛石均質(zhì)噴嘴包括有，一進(jìn)料均質(zhì)片10，在該進(jìn)料均質(zhì)片10的中間位置開(kāi)有兩個(gè)進(jìn)料口121，該兩個(gè)進(jìn)料口121為圓形或橢圓形；

一共振均質(zhì)片20，在該共振均質(zhì)片20的中間位置開(kāi)有一共振腔口221，該共振腔口221為長(zhǎng)方形或兩端為弧形的矩形；

一出料均質(zhì)片30，在該出料均質(zhì)片30的中間位置開(kāi)有一出料口321，出料口321為圓形或橢圓形。

將所述進(jìn)料均質(zhì)片10、共振均質(zhì)片20、出料均質(zhì)片30依次疊置形成均質(zhì)噴嘴；其中該進(jìn)料均質(zhì)片10、共振均質(zhì)片20、出料均質(zhì)片30均為由化學(xué)氣相沉積金剛石制作的圓形，在該進(jìn)料均質(zhì)片10、共振均質(zhì)片20、出料均質(zhì)片30的外周焊接制作有一圈金屬環(huán)形基體111。

本實(shí)用新型的工作過(guò)程為：

當(dāng)所述進(jìn)料均質(zhì)片10、共振均質(zhì)片20、出料均質(zhì)片30依次疊置形成均質(zhì)噴嘴時(shí)，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖3所示，首先將經(jīng)過(guò)初步粉碎的物料加壓至150Mpa，然后將經(jīng)過(guò)初步粉碎并加壓至150Mpa的物料經(jīng)進(jìn)料均質(zhì)片10的兩個(gè)進(jìn)料口121送入，通過(guò)共振均質(zhì)片20的振腔口221的共振，將物料均勻粉碎至納米尺寸，然后經(jīng)出料均質(zhì)片30的出料口321送出，從而得到納米尺寸的物料。

綜上所述，本實(shí)用新型運(yùn)用特殊的結(jié)構(gòu)與創(chuàng)新的空間形態(tài)，提供一具有成本低、加工制作簡(jiǎn)單，并具有使用效果好的化學(xué)氣相沉積金剛石均質(zhì)噴嘴。