[發(fā)明專利]收集裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 00132625.2
• 申請日: 2000-11-10
• 公開（公告）號(hào): CN1296127A
• 公開（公告）日: 2001-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 野村典彥;野路伸治
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社荏原制作所
• 主分類號(hào): F04B37/16
• 分類號(hào): F04B37/16;H01L21/02
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 劉興鵬

本發(fā)明涉及在一抽空系統(tǒng)中使用的收集裝置，該抽空系統(tǒng)用于抽空一個(gè)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備或類似設(shè)備的真空室。

下面將參考圖7說明傳統(tǒng)的抽空系統(tǒng)。在圖7中，氣密地密封室10包括一個(gè)處理室，該處理室在半導(dǎo)體制造加工中使用，例如在蝕刻裝置或化學(xué)氣相沉積(CVD)裝置中使用。氣密密封室10通過一個(gè)排出通道14連接到一個(gè)真空泵12。真空泵12用于將從在氣密密封室10的處理中排出的氣體壓力增加到一個(gè)大氣壓。因此在此以前一個(gè)油密封的旋轉(zhuǎn)真空泵被用作真空泵。現(xiàn)今普遍采用干式泵用作真空泵。

如果氣密密封室10所要求的真空度高于真空泵12的最后的真空度，于是一個(gè)諸如渦輪分子泵的超高真空泵被附加地設(shè)置在真空泵12的上游。

根據(jù)處理加工的類型，從一些處理加工中排出的氣體是有毒的和/或易爆的，于是不能直接將它們排出到大氣。因此，在真空泵的下游設(shè)置一個(gè)排氣處理裝置16。

在從處理加工中排出的氣體中，它們的壓力被增加到大氣壓力，不能被直接排出到大氣的氣體組分通過諸如吸收、分解、吸收的過程被處理。只有無害的氣體從排氣處理裝置中被排出到大氣。在排氣通道14的適合的位置設(shè)置必需的閥門。

傳統(tǒng)的抽空系統(tǒng)具有下列缺點(diǎn)。

在傳統(tǒng)的抽空系統(tǒng)中，如果反應(yīng)的副產(chǎn)品包含具有高升華點(diǎn)的物質(zhì)，于是當(dāng)該物質(zhì)的壓力增加時(shí)，氣態(tài)的該物質(zhì)就會(huì)固化并沉積在真空泵12上。這將會(huì)引起真空泵的故障。

例如，當(dāng)用于鋁合金蝕刻的典型處理氣體BCl₃或Cl₂被使用時(shí)，BCl₃或Cl₂的處理氣體的殘余和反應(yīng)的副產(chǎn)品AlCl₃借助于真空泵12從氣密的密封室10中被排出。AlCl₃不會(huì)沉積在真空泵12的抽氣側(cè)因?yàn)樗姆謮毫Φ汀Ｈ欢?dāng)AlCl₃在壓力下被排出時(shí)，它的分壓力將增加到使AlCl₃沉積、固化并附著在真空泵12的內(nèi)壁上，導(dǎo)致真空泵出現(xiàn)故障。在一個(gè)用于沉積SiN膜的CVD裝置中產(chǎn)生的諸如(NH₄)₂SiF₆和NH₄Cl的反應(yīng)副產(chǎn)品會(huì)存在同樣的問題。

在目前為止曾經(jīng)嘗試整體加熱真空泵以使反應(yīng)副產(chǎn)品呈氣態(tài)通過真空泵，以便不會(huì)在真空泵中沉積固體物質(zhì)。這個(gè)嘗試有效地防止固體物質(zhì)沉積在真空泵中。然而，又產(chǎn)生了有固體物質(zhì)沉積在真空泵下游的排氣處理裝置中的問題，于是會(huì)阻塞在排氣處理裝置中的填充層。

因此，可以設(shè)想在真空泵的上游設(shè)置一個(gè)諸如低溫度收集器的適合的收集裝置以收集易于固化的并包含在排氣中的組分。在這個(gè)情況下，要求收集裝置防止排氣中包含的大部分組分沒有在收集裝置中沉積就從其中通過，借此改善了收集效率并因此加強(qiáng)了它的可靠性。

此外，因?yàn)槭占墓腆w在收集裝置的收集單元中積聚，在經(jīng)過一特定的時(shí)期后，通過預(yù)定的方法更換收集裝置或去除固體以再生所要求的收集裝置。在以前，需要提供大量的收集裝置，很難使系統(tǒng)的操作自動(dòng)化。一個(gè)用于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作的可能的方法的實(shí)例是提供一個(gè)靠近收集室的再生室。在這個(gè)方法中，收集裝置被設(shè)置在再生室中，并且在這個(gè)狀態(tài)下，諸如熱水或化學(xué)液體的再生液體流過再生室以再生(清潔)收集裝置，于是使它能夠進(jìn)行自動(dòng)化操作。在這個(gè)情況下，需要改善再生效率并加強(qiáng)收集裝置的可靠性。

根據(jù)上述缺點(diǎn)完成了本發(fā)明。因此本發(fā)明的目的是提供一個(gè)收集裝置，其能夠依靠改善收集產(chǎn)物的效率或改善再生效率，即改善去除沉積在收集單元上產(chǎn)物以再生收集單元的效率來改善它的可靠性。

為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種設(shè)置在一個(gè)排出通道中的收集裝置，其用于通過真空泵抽空一個(gè)抽空氣密密封室，所述收集裝置包括：一個(gè)用于在其上積聚包含在排出氣體內(nèi)的產(chǎn)物并除去該產(chǎn)物的收集單元，所述收集單元具有一個(gè)經(jīng)過親水處理的表面。

在收集單元的表面上所進(jìn)行的親水處理使表面能量小于液體的縮聚力。通過這種處理，即使難于收集的產(chǎn)物也能夠在擋板的表面上被吸收，于是改善了收集效率。親水處理的實(shí)例包括在其中含有親水離子的氟涂層。