[發明專利]用于研磨工件的方法和裝置

無效

• 申請號: 00105583.6
• 申請日: 2000-03-31
• 公開（公告）號: CN1268420A
• 公開（公告）日: 2000-10-04
• 發明（設計）人: 溫井滿;村井史朗;高田道浩;奧山哲雄;加賀宗明;和田豐尚
• 申請（專利權）人: 日平富山株式會社
• 主分類號: B24B37/02
• 分類號: B24B37/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 劉曉峰

本發明涉及一種用于研磨工件的方法和裝置，更具體的涉及一種用于研磨作為半導體晶片的由環狀薄片構成的工件的外周邊表面的方法和裝置。

通常，在對由環狀薄片構成的此種類型的工件進行研磨時，已經采用了圖16中所示的研磨方法。即，在此傳統的方法中，工件71圍繞其中心軸L1進行旋轉，且移動研磨輪72，從而在圍繞與工件71的中心軸L1平行的軸L2旋轉的同時向著工件71的外周邊部71a進給。其結果，通過所形成的研磨輪72的外周邊的凹陷的輪表面72a對工件71的外周邊部71a進行研磨。

然而，通過研磨工件的傳統的方法，由于通過成形的研磨輪72的凹陷的輪表面72a對工件71的外周邊部71a進行研磨時，成形研磨輪72的凹陷輪表面72a易于被磨損，其結果是輪廓容易產生變形。為此，特別是在精加工時，通過單個的成形研磨輪72，很難維持多樣性的工件71的外周邊部71a的恒定的加工精度，這就需要頻繁的替換成形研磨輪72，從而有損加工精度并增大加工成本。

本發明正是針對在現有技術中存在的上述的問題而提出的。其目的在于提供一種用于研磨工件的方法和裝置，從而可在維持恒定的加工形狀精度的情況下研磨工件的外周邊部，并且不需要頻繁的替換研磨輪。

為了實現上述的目的，根據本發明的第一方面，其提供一種用于研磨工件的方法，將由環形薄片構成的工件圍繞其中心軸進行旋轉，每個盤狀旋轉研磨輪，在圍繞基本上平行工件表面的軸旋轉時，沿工件的外周邊部在工件的正反面上進行相對的進給移動。結果，通過每個旋轉研磨輪的外周邊輪面對工件的外周邊部進行研磨。

在此情況下，術語“旋轉研磨輪”包含墊，而術語“研磨”包含拋光。并且，這些術語同樣用在下面的描述中。

另外，通過進行上述的相對進給移動，從而沿工件的厚度方向在要被研磨的邊部的預定結構的至少一部分上連續移動研磨輪。

為此，與傳統的通過成形研磨輪對工件的外周邊部進行研磨的方法相比，每個旋轉研磨輪的輪表面的輪廓不易發生變形，從而不必要頻繁的替換旋轉研磨輪。相應的，可降低旋轉研磨輪的材料成本。另外，由于每個旋轉研磨輪的表面輪廓不易于發生變形，可高精度的將工件的外周邊部研磨成恒定的加工形狀。

另外，通過控制工件和旋轉研磨輪的相對進給控制和借助同一個研磨輪從而將工件的邊部加工成任意的形狀。

在根據本發明的研磨工件的方法中，通過設置旋轉研磨輪的軸，從而使其與工件的徑向垂直。為此，實現了工件的旋轉，從而轉動旋轉研磨輪的外周邊表面。換句話說，工件23在旋轉研磨輪的寬度方向上進行相對移動。相應的，通過有效利用旋轉研磨輪的外周邊輪表面的整個寬度而對工件的全部外周邊部進行研磨。

在根據本發明的研磨工件的方法中，旋轉研磨輪由兩個用于粗研磨和精研磨的研磨輪構成，分別通過研磨輪進行粗研磨和精研磨。為此，可連續并高精度的分別對工件的外周邊部進行粗研磨和精研磨。

在根據本發明的研磨工件的方法中，通過同一操作臺對工件的外周邊部進行粗研磨和精研磨。為此，無須將工件移到另外的操作臺上或移動工件的支架，并在被設置在同一操作臺上的情況下連續的對外周邊部進行粗研磨和精研磨。因此，可維持工件的位置精度并提高工作效率。另外，不用單獨的提供用于粗研磨和精研磨的操作臺，這樣簡化了研磨設備的結構，從而可將研磨裝置制造的精巧。

在根據本發明的研磨工件的方法中，通過將二氧化硅的顆粒相黏結成固結磨粒而形成的旋轉研磨輪被用做精研磨的旋轉研磨輪。為此，借助二氧化硅的還原作用的化學反應可將工件的外周邊部研磨成精細的研磨表面。

在根據本發明的對工件進行研磨的方法中，在通過使用旋轉研磨輪對工件的外周邊部進行粗研磨和精研磨后，通過使用盤狀的拋光墊和拋光膏進行最后的精加工。為此，使用相對軟的拋光墊，且拋光膏可對工件的加工部分起到冷卻的作用。因此，可增大工件的外周邊部的研磨表面精細度并實現超高精度的研磨。

在根據本發明的對工件進行研磨的方法中，對工件的外周邊部進行研磨。

相應的，可在對外周邊部進行研磨過程中可獲得上述的實際優點。

在根據本發明的對工件進行研磨的方法中，對在其中心具有圓孔的工件的內周邊部進行研磨。

相應的，在對內周邊部進行研磨的過程中可獲得上述的使用優點。

在根據本發明的對工件進行研磨的方法中，在通過使用盤狀旋轉研磨輪進行研磨之前使用將用于柱形研磨的旋轉研磨輪圍繞平行于工件的中心軸的軸進行旋轉，從而通過柱形研磨對工件的邊部進行粗加工。