[發明專利]光盤及其生產方法無效
| 申請號: | 00104193.2 | 申請日: | 2000-02-09 |
| 公開(公告)號: | CN1264116A | 公開(公告)日: | 2000-08-23 |
| 發明(設計)人: | 村田省藏;田嶋行利 | 申請(專利權)人: | 株式會社理光 |
| 主分類號: | G11B7/26 | 分類號: | G11B7/26;B29C33/38;//B29L1700 |
| 代理公司: | 柳沈知識產權律師事務所 | 代理人: | 李曉舒 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光盤 及其 生產 方法 | ||
1.一種用于模制光盤基底的壓模,包括:
用于模制光盤基底的轉印面;和
與所述的轉印面平行但不接觸地延伸的絕熱材料。
2.一種如權利要求1所述的壓模,其中所述的絕熱材料具有低于94W/m.k.的熱導率。
3.一種如權利要求1所述的壓模,其中所述的絕熱材料包括耐熱有機聚合物。
4.一種如權利要求3所述的壓模,其中所述的耐熱有機聚合物包括聚酰亞胺。
5.一種如權利要求4所述的壓模,其中所述的聚酰亞胺的厚度在5μm和150μm之間。
6.一種如權利要求3所述的壓模,其中所述的耐熱有機聚合物包括聚酰胺酰亞胺(polyimideamide)。
7.一種如權利要求6所述的壓模,其中所述的聚酰胺酰亞胺的厚度在5μm和150μm之間。
8.一種如權利要求1所述的壓模,其中所述的絕熱材料包括耐熱無機聚合物。
9.一種如權利要求8所述的壓模,其中所述的耐熱無機聚合物包括陶瓷。
10.一種如權利要求9所述的壓模,其中所述的陶瓷的厚度在50μm和300μm之間。
11.一種如權利要求1所述的壓模,其中所述的絕熱材料包括金屬。
12.一種如權利要求11所述的壓模,其中所述的金屬具有與用作壓模材料的Ni(鎳)相近的線性膨脹系數。
13.一種如權利要求11所述的壓模,其中所述的金屬包括Bi(鉍)。
14.一種如權利要求13所述的壓模,其中Bi材料的厚度在150μm和300μm之間。
15.一種生產用于模制光盤基底的壓模的方法,包括如下步驟:
在具有轉印面圖案的光致抗蝕劑原模上電鑄Ni層,該Ni層具有一轉印面,將所述的轉印面圖案轉印到該轉印面上;
在所述的Ni層上形成絕熱層;和
將所述的光致抗蝕劑原模從所述的Ni層上分離開。
16.一種如權利要求15所述的方法,進一步包括在所述的絕熱層上形成第二Ni層的步驟。
17.一種如權利要求15所述的方法,其中所述的絕熱材料的熱導率低于94W/m.k.。
18.一種如權利要求15所述的方法,其中所述的絕熱材料包括耐熱有機聚合物。
19.一種如權利要求18所述的方法,其中所述的耐熱有機聚合物包括聚酰亞胺。
20.一種如權利要求19所述的方法,其中所述的聚酰亞胺的厚度在5μm和150μm之間。
21.一種如權利要求15所述的方法,其中所述的耐熱有機聚合物包括聚酰胺酰亞胺(polyimideamide)。
22.一種如權利要求21所述的方法,其中所述的聚酰胺酰亞胺的厚度在5μm和150μm之間。
23.一種如權利要求15所述的方法,其中所述的絕熱材料包括耐熱無機聚合物。
24.一種如權利要求23所述的方法,其中所述的耐熱無機聚合物包括陶瓷。
25.一種如權利要求24所述的方法,其中所述的陶瓷的厚度在50μm和300μm之間。
26.一種如權利要求15所述的方法,其中所述的絕熱材料包括金屬。
27.一種如權利要求26所述的方法,其中所述的金屬具有與用作壓模材料的Ni(鎳)相近的線性膨脹系數。
28.一種如權利要求26所述的方法,其中所述的金屬包括Bi(鉍)。
29.一種如權利要求28所述的方法,其中Bi材料的厚度在150μm和300μm之間。
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