日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發明專利]一種薄膜晶體管及其制造方法、顯示面板有效

專利信息
申請號: 201710631958.4 申請日: 2017-07-28
公開(公告)號: CN107393831B 公開(公告)日: 2020-04-10
發明(設計)人: 林永祥 申請(專利權)人: 武漢天馬微電子有限公司
主分類號: H01L21/336 分類號: H01L21/336;H01L29/786;G02F1/1368
代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444 代理人: 王剛;龔敏
地址: 430205 湖北省武漢市*** 國省代碼: 湖北;42
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 薄膜晶體管 及其 制造 方法 顯示 面板
【權利要求書】:

1.一種薄膜晶體管的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括:

提供一基板;

在所述基板上形成半導體層;

在所述半導體層遠離所述基板的一側形成第一絕緣層;

在所述第一絕緣層遠離所述基板的一側形成柵極層;

在所述柵極層遠離所述基板的一側形成第二絕緣層;

在所述第二絕緣層遠離所述基板的一側形成第一金屬層;

在垂直于所述基板的方向上形成貫穿所述第一絕緣層、所述第二絕緣層和所述第一金屬層的第一過孔和第二過孔,所述第一過孔和所述第二過孔在所述基板上的正投影分別位于所述柵極層的兩側;

在所述第一金屬層遠離所述基板的一側形成第二金屬層,其中,所述第二金屬層分別通過所述第一過孔和所述第二過孔與所述半導體層連接,以及所述第一金屬層通過所述第二金屬層與所述半導體層連接。

2.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述在所述柵極層遠離所述基板的一側形成第二絕緣層,包括:

在所述柵極層遠離所述基板的一側,通過化學氣相沉淀形成所述第二絕緣層。

3.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述在垂直于所述基板的方向上形成貫穿所述第一絕緣層、第二絕緣層和所述第一金屬層的第一過孔和第二過孔,包括:

在所述第一金屬層遠離所述基板的一側形成光刻膠膜層;

在所述光刻膠膜層遠離所述基板的一側覆蓋掩膜版;

對所述光刻膠膜層進行曝光;

移除所述掩膜版;

對所述光刻膠層進行顯影處理,以使所述光刻膠膜層形成指定圖案;

利用具有指定圖案的所述光刻膠膜層,對所述第一絕緣層、所述第二絕緣層和所述第一金屬層進行刻蝕處理,以在垂直于所述基板的方向上形成貫穿所述第一絕緣層、所述第二絕緣層和所述第一金屬層的第一過孔和第二過孔;

將具有指定圖案的所述光刻膠膜層移除。

4.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,在垂直于所述基板的方向上形成貫穿所述第一絕緣層、第二絕緣層和所述第一金屬層的第一過孔和第二過孔之后,且在所述第一金屬層遠離所述基板的一側形成第二金屬層之前,所述制造方法還包括:

清洗所述半導體層上殘留的所述第一絕緣層。

5.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述制造方法還包括:

在所述第一金屬層和所述第二金屬層構成的膜層上圖案化形成第一部分、第二部分和第三部分,所述第一部分、所述第二部分和所述第三部分之間相互不連接,所述第一過孔在所述基板上的正投影位于所述第一部分在所述基板上的正投影內,所述第二過孔在所述基板上的正投影位于所述第三部分在所述基板上的正投影內,所述第二部分在所述基板上的正投影位于所述第一部分和所述第三部分在所述基板上的正投影之間,所述第二部分在所述基板上的正投影與所述柵極層在所述基板上的正投影相互交疊。

6.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述制造方法還包括:

在所述第一金屬層和所述第二金屬層構成的膜層上圖案化形成第一部分和第三部分,所述第一部分和所述第三部分之間相互不連接,所述第一過孔在所述基板上的正投影位于所述第一部分在所述基板上的正投影內,所述第二過孔在所述基板上的正投影位于所述第三部分在所述基板上的正投影內,所述第一部分和所述第三部分在所述基板上的正投影都不與所述柵極層在所述基板上的正投影交疊。

7.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述第一金屬層和/或第二金屬層通過物理磁控濺鍍形成。

8.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述第一金屬層和所述第二金屬層的材料包括鉬、鋁、銅、鈦、銀和金屬氧化物中的至少一種。

9.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,

所述第一金屬層的厚度h1的取值范圍為:10nm≤h1≤900nm;

所述第二金屬層的厚度h2的取值范圍為:15nm≤h1≤900nm。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于武漢天馬微電子有限公司,未經武漢天馬微電子有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710631958.4/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 国产欧美一区二区精品性色超碰| 国产农村妇女精品一区二区| 国产精品一区二区在线观看| 精品国产品香蕉在线| 四虎久久精品国产亚洲av| 综合久久激情| 亚洲欧洲另类精品久久综合| 国产69精品久久久久久| 国产精自产拍久久久久久蜜| 午夜精品一二三区| 国产精品免费不卡| 国产精品一二三区视频网站| 国产精品美女久久久免费| 亚洲欧美制服丝腿| 99精品区| 年轻bbwbbw高潮| 欧美日韩一区二区三区69堂| 一区二区在线国产| 国产一区在线免费观看| 一区二区三区电影在线观看| 91久久精品国产亚洲a∨麻豆 | 亚洲精品卡一卡二 | 综合久久国产九一剧情麻豆| 日本一区二区三区中文字幕 | 免费毛片a| 国产69精品久久久久777| xxxx在线视频| 国产精品美女一区二区视频| 日韩av在线影视| 亚洲欧美一区二| 91影视一区二区三区| 一区二区三区国产视频| 日韩精品一区二区中文字幕| 国产精品国产亚洲精品看不卡15 | 日韩精品少妇一区二区在线看| 午夜黄色一级电影| 少妇性色午夜淫片aaa播放5| 亚洲精品久久在线| 精品国产乱码久久久久久久| 国产精品一区二区在线看| 久久午夜鲁丝片午夜精品| 91人人爽人人爽人人精88v| 亚洲国产午夜片| 国产电影精品一区| 在线国产一区二区三区| 亚洲欧美日韩另类精品一区二区三区| 日韩av在线影院| 中文字幕一区二区三区不卡| 国产精品久久人人做人人爽 | 精品一区欧美| 欧美日韩中文字幕一区| 日韩欧美国产第一页| 日韩一区免费| 色综合久久久久久久粉嫩| 欧美日韩中文字幕三区| 波多野结衣巨乳女教师| 久99久视频| 91福利视频导航| 国产呻吟高潮| 国产一区二区三区网站| 亚洲国产精品网站| 欧美日韩久久一区二区| 欧美二区精品| 欧美一级片一区| 国产精品白浆视频| 欧美日韩亚洲另类| 九九久久国产精品| 精品国产免费久久| 国产欧美一区二区三区免费看| 视频一区欧美| 日韩av免费电影| 国产jizz18女人高潮| 久久久一区二区精品| 99久久精品国产国产毛片小说| 亚洲久色影视| 麻豆精品一区二区三区在线观看| 99久久精品免费看国产免费粉嫩| 欧美黑人巨大久久久精品一区| 亚洲欧美国产精品久久| bbbbb女女女女女bbbbb国产| 91热精品| 一区二区国产盗摄色噜噜| 午夜激情在线免费观看| 玖玖国产精品视频| 国产精品久久久久久久龚玥菲| 国产乱码精品一区二区三区介绍| 精品视频久| 午夜精品一区二区三区三上悠亚| 久久国产视屏| 99爱国产精品| 大bbw大bbw巨大bbb| 国产欧美一区二区三区沐欲| 综合欧美一区二区三区| 国产日韩欧美一区二区在线观看| 国产欧美亚洲一区二区| 日韩中文字幕在线一区二区| 欧美资源一区| 国产精品人人爽人人做av片| 亚州精品国产| 色噜噜狠狠狠狠色综合久 | 中文字幕制服狠久久日韩二区| 欧美激情精品一区| 精品久久久久久中文字幕| 久久久久国产一区二区三区不卡| 国产日产精品一区二区| 日日夜夜亚洲精品| 午夜影院h| 久久人91精品久久久久久不卡| 精品国产一区二区三区久久久久久 | 亚洲精欧美一区二区精品| 夜夜嗨av禁果av粉嫩av懂色av | 日本一级中文字幕久久久久久| 亚洲精品日日夜夜| 国产一级片自拍| 午夜影院毛片| 欧美一区二区三区激情| 李采潭伦理bd播放| 国产乱对白刺激在线视频| 日韩精品免费一区二区三区| 99精品免费在线视频| 97国产精品久久| 欧美在线一区二区视频| 玖玖爱国产精品| 国产麻豆一区二区三区在线观看 | 日本一区二区免费电影| 91偷拍网站| 97人人澡人人添人人爽超碰| 日本亚洲国产精品| 亚洲欧美国产一区二区三区| 日本99精品| 中日韩欧美一级毛片| 91精品第一页| 国产精品日韩在线观看| 欧美一区二区三区中文字幕| 中出乱码av亚洲精品久久天堂| 国产麻豆91视频| 色综合久久网| 国产精品中文字幕一区二区三区 | 538国产精品一区二区在线| 欧美日韩国产一二| 麻豆国产一区二区三区| 国产伦精品一区二区三区无广告 | 满春阁精品av在线导航| 亚洲精品一区中文字幕| 国产白丝一区二区三区| 国产午夜三级一区二区三| 四虎国产永久在线精品| 91精品丝袜国产高跟在线| 国产精品久久久久久一区二区三区| 欧美激情精品一区| 狠狠色丁香久久综合频道| 国产一级二级在线| 香蕉久久国产| 国产淫片免费看| 91日韩一区二区三区| 国产999在线观看| 蜜臀久久99精品久久久| 日本伦精品一区二区三区免费| 午夜影院黄色片| 高清欧美xxxx| 亚洲理论影院| 免费看欧美中韩毛片影院| 国产一区二区三区乱码| 自拍偷在线精品自拍偷写真图片| 自拍偷在线精品自拍偷无码专区| 26uuu亚洲电影在线观看| 久久精品视频偷拍| 国产日韩欧美综合在线| 国产99视频精品免视看芒果| 日韩午夜三级| 国产精品久久久麻豆| 偷拍自中文字av在线| 中文字幕国内精品| 国产三级欧美三级日产三级99| 少妇**毛片| 国产精品免费一视频区二区三区| 国产一区日韩一区| 99热久久这里只精品国产www | 亚洲精品久久久久一区二区| 欧美日韩一卡二卡| 精品一区二区三区自拍图片区| 高清在线一区二区| 精品国产一区二区三区国产馆杂枝| 91免费国产| 国产色婷婷精品综合在线手机播放| 97久久国产亚洲精品超碰热| 欧美精品日韩精品| 精品国产一区二区在线| 亚洲美女在线一区| 国产欧美精品一区二区三区-老狼 国产精品一二三区视频网站 | 狠狠色综合久久丁香婷婷 | 精品欧美一区二区精品久久小说 | 99精品国产免费久久| 国产精品久久免费视频在线| 国内少妇自拍视频一区| 99re热精品视频国产免费| 久久人人精品| av素人在线| 少妇高潮ⅴideosex| 久热精品视频在线| 99欧美精品| 国产麻豆91视频| 久久精品入口九色| 亚洲欧美日韩在线| 国产精品电影一区| 亚洲精品丝袜| 日本三级香港三级| 少妇高潮大叫喷水| 国产性猛交xx乱| bbbbb女女女女女bbbbb国产| 香蕉久久国产| 午夜看片网| 一区二区三区日韩精品| 亚洲精品久久久久999中文字幕 | 精品福利一区| 991本久久精品久久久久| 麻豆精品国产入口| 国产精品久久久久久久久久不蜜臀| 大bbw大bbw巨大bbw看看| 一区二区三区国产精华| 欧美亚洲精品一区二区三区| 国产乱人乱精一区二视频国产精品 | 国产精品中文字幕一区二区三区| 亚洲欧美色一区二区三区| 欧美一区二区三区在线免费观看| 久久精品亚洲精品| 精品一区二区超碰久久久| 久久精品99国产精品亚洲最刺激| 鲁丝一区二区三区免费观看| 国产99久久久久久免费看| 国产69精品99久久久久久宅男| 丰满少妇高潮惨叫久久久一| 久久久精品久久日韩一区综合| 国产精品二十区| 国产精品天堂网| 精品国产乱码久久久久久a丨| 88888888国产一区二区| 国产一区二区三区网站| 精品少妇一区二区三区| 精品午夜电影| 在线电影一区二区| 久久久久久久久亚洲精品| 日韩精品午夜视频| 久久综合狠狠狠色97| 国产精品高潮呻吟三区四区| 久久一区欧美|