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[發明專利]紫外感光鑭鍶錳氧溶膠及其微細圖形化薄膜的制備方法有效

專利信息
申請號: 201410356077.2 申請日: 2014-07-24
公開(公告)號: CN104120416A 公開(公告)日: 2014-10-29
發明(設計)人: 段宗范;魏娟寧;趙高揚 申請(專利權)人: 西安理工大學
主分類號: C23C20/08 分類號: C23C20/08
代理公司: 西安弘理專利事務所 61214 代理人: 李娜
地址: 710048*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 紫外 感光 鑭鍶錳氧 溶膠 及其 微細 圖形 薄膜 制備 方法
【權利要求書】:

1.紫外感光鑭鍶錳氧溶膠的制備方法,其特征在于,是由La(NO3)3·6H2O、Sr(CH3COO)2·0.5H2O、Mn(CH3COO)2·4H2O、2,2′-聯吡啶按照摩爾比為0.67:0.33:1:(0.665~1.33)制成的La0.67Sr0.33MnO3感光溶膠,具體包括以下步驟:

步驟1:將Sr(CH3COO)2·0.5H2O加入無水甲醇中,室溫下攪拌使其完全溶解,然后加入2,2′-聯吡啶,繼續攪拌20~30min,形成溶液A;

將Mn(CH3COO)2·4H2O加入無水甲醇中,室溫下攪拌使其完全溶解,然后加入2,2′-聯吡啶,繼續攪拌20~30min,形成溶液B;

將La(NO3)3·6H2O加入無水甲醇中,室溫下攪拌使其完全溶解,經室溫下攪拌后形成溶液C;

步驟2:將所述步驟1得到的溶液A、溶液B、和溶液C按鑭、鍶、錳三種金屬離子摩爾比為La3+:Sr2+:Mn4+=0.67:0.33:1混合,得到化學組成為La0.67Sr0.33MnO3的感光溶膠,加入適量甲醇定容至金屬離子總濃度為0.1~0.5mol/L。

2.如權利要求1所述的紫外感光鑭鍶錳氧溶膠的制備方法,其特征在于,所述步驟1中Sr(CH3COO)2·0.5H2O:2,2′-聯吡啶:無水甲醇的摩爾比=1:(0.5~1.0):20;Mn(CH3COO)2·4H2O:2,2′-聯吡啶:無水甲醇的摩爾比=1:(0.5~1.0):20;La(NO3)3·6H2O:無水甲醇的摩爾比為1:20。

3.使用如權利要求1所述的紫外感光鑭鍶錳氧溶膠制備具有微細圖形化薄膜的方法,其特征在于,以La0.67Sr0.33MnO3溶膠為制膜前驅物,通過浸漬提拉法在基板上制備紫外感光La0.67Sr0.33MnO3凝膠薄膜,隨后經干燥、曝光、溶洗和熱處理,得到具有微細圖形化結構的La0.67Sr0.33MnO3薄膜。

4.如權利要求3所述的使用紫外感光鑭鍶錳氧溶膠制備具有微細圖形化薄膜的方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟1:以紫外感光La0.67Sr0.33MnO3溶膠為制膜前驅物,通過浸漬提拉法在基板上制備紫外感光La0.67Sr0.33MnO3凝膠薄膜,然后進行干燥,得到干燥的La0.67Sr0.33MnO3凝膠薄膜;

步驟2:采用紫外掩模法或雙光束激光干涉法對所述步驟1得到的干燥的La0.67Sr0.33MnO3凝膠薄膜進行曝光,得到曝光后的La0.67Sr0.33MnO3凝膠薄膜;

步驟3:將所述步驟2得到的曝光后的La0.67Sr0.33MnO3凝膠薄膜在混合溶劑中溶洗,然后進行熱處理,得到具有微細圖形化的La0.67Sr0.33MnO3薄膜。

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