[發明專利]紫外感光鑭鍶錳氧溶膠及其微細圖形化薄膜的制備方法

有效

• 申請號: 201410356077.2
• 申請日: 2014-07-24
• 公開（公告）號: CN104120416A
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 段宗范;魏娟寧;趙高揚
• 申請（專利權）人: 西安理工大學
• 主分類號: C23C20/08
• 分類號: C23C20/08
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 李娜

1.紫外感光鑭鍶錳氧溶膠的制備方法，其特征在于，是由La(NO₃)₃·6H₂O、Sr(CH₃COO)₂·0.5H₂O、Mn(CH₃COO)₂·4H₂O、2,2′-聯吡啶按照摩爾比為0.67:0.33:1:(0.665～1.33)制成的La_0.67Sr_0.33MnO₃感光溶膠，具體包括以下步驟：

步驟1：將Sr(CH₃COO)₂·0.5H₂O加入無水甲醇中，室溫下攪拌使其完全溶解，然后加入2,2′-聯吡啶，繼續攪拌20～30min，形成溶液A；

將Mn(CH₃COO)₂·4H₂O加入無水甲醇中，室溫下攪拌使其完全溶解，然后加入2,2′-聯吡啶，繼續攪拌20～30min，形成溶液B；

將La(NO₃)₃·6H₂O加入無水甲醇中，室溫下攪拌使其完全溶解，經室溫下攪拌后形成溶液C；

步驟2：將所述步驟1得到的溶液A、溶液B、和溶液C按鑭、鍶、錳三種金屬離子摩爾比為La³⁺:Sr²⁺:Mn⁴⁺＝0.67:0.33:1混合，得到化學組成為La_0.67Sr_0.33MnO₃的感光溶膠，加入適量甲醇定容至金屬離子總濃度為0.1～0.5mol/L。

2.如權利要求1所述的紫外感光鑭鍶錳氧溶膠的制備方法，其特征在于，所述步驟1中Sr(CH₃COO)₂·0.5H₂O:2,2′-聯吡啶:無水甲醇的摩爾比＝1:(0.5～1.0):20；Mn(CH₃COO)₂·4H₂O:2,2′-聯吡啶:無水甲醇的摩爾比＝1:(0.5～1.0):20；La(NO₃)₃·6H₂O:無水甲醇的摩爾比為1:20。

3.使用如權利要求1所述的紫外感光鑭鍶錳氧溶膠制備具有微細圖形化薄膜的方法，其特征在于，以La_0.67Sr_0.33MnO₃溶膠為制膜前驅物，通過浸漬提拉法在基板上制備紫外感光La_0.67Sr_0.33MnO₃凝膠薄膜，隨后經干燥、曝光、溶洗和熱處理，得到具有微細圖形化結構的La_0.67Sr_0.33MnO₃薄膜。

4.如權利要求3所述的使用紫外感光鑭鍶錳氧溶膠制備具有微細圖形化薄膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：以紫外感光La_0.67Sr_0.33MnO₃溶膠為制膜前驅物，通過浸漬提拉法在基板上制備紫外感光La_0.67Sr_0.33MnO₃凝膠薄膜，然后進行干燥，得到干燥的La_0.67Sr_0.33MnO₃凝膠薄膜；

步驟2：采用紫外掩模法或雙光束激光干涉法對所述步驟1得到的干燥的La_0.67Sr_0.33MnO₃凝膠薄膜進行曝光，得到曝光后的La_0.67Sr_0.33MnO₃凝膠薄膜；

步驟3：將所述步驟2得到的曝光后的La_0.67Sr_0.33MnO₃凝膠薄膜在混合溶劑中溶洗，然后進行熱處理，得到具有微細圖形化的La_0.67Sr_0.33MnO₃薄膜。