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[其他]具有多層超導結構的電路及其制造方法無效

專利信息
申請號: 88102047 申請日: 1988-03-31
公開(公告)號: CN88102047A 公開(公告)日: 1988-10-19
發明(設計)人: 山崎舜平 申請(專利權)人: 株式會社半導體能源研究所
主分類號: H01L27/18 分類號: H01L27/18;H01L21/70
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 肖掬昌,肖春京
地址: 日本神*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一種在半導體襯底上具備超導膜的電路,與超導膜相接觸的表面由耐熱非氧化絕緣膜組成,以使超導膜的性能不下降。
搜索關鍵詞: 具有 多層 超導 結構 電路 及其 制造 方法
【主權項】:
1、一種電路包括:一個襯底,在所述襯底上制備的超導陶瓷氧化物圖形和與所述超導圖形相接觸的非氧化膜。
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