[其他]超導薄膜的制作方法無效
| 申請號： | 88102025 | 申請日： | 1988-03-14 |
| 公開（公告）號： | CN88102025A | 公開（公告）日： | 1988-10-26 |
| 發明（設計）人： | 藤田順彥;藤森直治;系崎秀夫;田中三郎;原田敬三;上代哲治 | 申請（專利權）人： | 住友電氣工業株式會社 |
| 主分類號： | H01B12/06 | 分類號： | H01B12/06;H01L39/12 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 本發明是關于一種超導薄膜的制作方法。其特征是將含有從釔(Y)、鑭(La)、釓(Gd)、鈥(Ho)、鉺(Er)、鐿(Yb)組成的一組元素中選擇的一種元素M、鋇和銅氧化物的混合物或者復合氧化物作為靶進行物理蒸鍍，形成鈣鈦礦型或準鈣鈦礦型的氧化物薄膜，上述靶可由預燒結材料制成，物理蒸鍍可用高頻濺射技術進行。對形成的薄膜，可以進一步在250—1700℃，最好在250～1200℃的溫度范圍內進行熱處理。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 超導 薄膜 制作方法 | ||
【主權項】：
1、一種超導薄膜的制作方法，其特征是使用一個由混合氧化物或復合氧化物制成的靶，所述氧化物含有鋇(Ba)、銅(Cu)和M，M是從釔(Y)、鑭(La)、釓(Gd)、鈥(Ho)、鉺(Er)、鐿(Yb)、組成的一組元素中選擇的一個元素，對該靶進行物理蒸鍍，形成一種鈣鈦礦型或準鈣鈦礦型的氧化物薄膜。
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