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[其他]用光照制造超導圖形的方法無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 88101989 申請日: 1988-04-07
公開(公告)號: CN88101989A 公開(公告)日: 1988-10-26
發(fā)明(設計)人: 山崎舜平 申請(專利權(quán))人: 株式會社半導體能源研究所
主分類號: H01B12/02 分類號: H01B12/02;H01F5/08;H01L39/24
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 肖掬昌,肖春京
地址: 日本神奈*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 用濺射法在襯底上淀積超導陶瓷薄膜。借助于陶瓷的低導熱率,用激光束照射陶瓷薄膜,以通過升華除去受照射的部分,從而在陶瓷薄膜上形成圖形。
搜索關鍵詞: 用光 制造 超導 圖形 方法
【主權(quán)項】:
1、一種制造超陶瓷圖形的方法,其特征在于,該方法包括:在一個表面上形成一超導陶瓷層,和用光照射所述陶瓷層的一部分,使該部分升華,從而除去所述陶瓷層受照射的部分。
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