日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[其他]一種除去沉積在化學氣相沉積反應器反應室內的不須要的碳產物的方法無效

專利信息
申請號: 88101465 申請日: 1988-02-24
公開(公告)號: CN88101465A 公開(公告)日: 1988-10-05
發明(設計)人: 山崎舜平 申請(專利權)人: 株式會社半導體能源研究所
主分類號: C23C16/26 分類號: C23C16/26;C23C16/56
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 楊麗琴
地址: 日本神*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 沉積碳膜后清理化學氣相反應器內部。當結晶的碳或象金剛石的碳在反應室內形成時,在反應室內有不需要的沉積物。利用氧氣或氧化合物氣體而不是利用對反應器內部有損壞作用的氟或氟化合物氣體,通過侵蝕,將粘性的碳沉積除去。
搜索關鍵詞: 一種 除去 沉積 化學 反應器 反應 室內 須要 產物 方法
【主權項】:
1、一種通過化學氣相沉積反應器在基片上完成沉積碳膜后,除去該反應器反應室內壁上的碳沉積的侵蝕方法,所述方法的步驟是:抽空所述的反應室;向所述的反應室通入作為侵蝕氣體的氧氣或氧化合物氣體,和向所述的反應室通入電磁能,以產生從所述的侵蝕氣體中衍生出的等離子氣。
下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社半導體能源研究所,未經株式會社半導體能源研究所許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/patent/88101465/,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖;

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 日本三级韩国三级国产三级| 午夜码电影| 国产色99| 国产二区精品视频| 91国产在线看| 亚洲少妇一区二区三区| 一本色道久久综合亚洲精品图片| 久久99精品国产麻豆婷婷| 日韩不卡毛片| 一本一道久久a久久精品综合蜜臀| 国产91一区| 国产日韩麻豆| 一区二区三区国产精华| 日韩精品中文字幕一区二区三区| 少妇太爽了在线观看免费| 国产精品久久久爽爽爽麻豆色哟哟 | 久久国产精品二区| 国产精品一区二区毛茸茸| 中文字幕一区二区三区不卡| 色综合久久久久久久粉嫩| 日韩国产精品久久| 美日韩一区| 国产欧美精品va在线观看| 欧美系列一区二区| 国产精品一区二| 日本边做饭边被躁bd在线看 | 亚洲国产精品一区在线| 手机看片国产一区| 国产一区二区精品在线| 国产一区二区三区在线电影| 夜色av网站| 欧美一区视频观看| 亚洲视频精品一区| 91精品系列| 国产精品第56页| 91麻豆精品国产91久久久更新资源速度超快| 亚洲国产99| 午夜天堂在线| 日韩精品一区二区三区四区在线观看 | 精品国产九九九| 日日夜夜精品免费看 | 久久久久亚洲精品视频| 色综合久久久久久久粉嫩| 午夜国产一区二区三区四区| **毛片免费| 久久精品麻豆| 久久精视频| 精品少妇一区二区三区 | 日本午夜精品一区二区三区| 国v精品久久久网| 国产精品亚洲一区二区三区| 中文字幕av一区二区三区四区| 一区二区久久精品| 精品国产乱码久久久久久虫虫| 日本精品一区在线| 人人要人人澡人人爽人人dvd| 精品国产区一区二| 国产一区二区播放| 国产精品久久久久久久久久久久冷| 欧洲在线一区| 日韩一区二区中文字幕| 精品国产一区二区三区在线| 午夜无遮挡| 国产精品欧美一区二区三区| 国产在线精品一区| 亚洲精品日韩激情欧美| 亚洲乱玛2021| 欧美二区精品| 亚洲国产美女精品久久久久∴| 亚洲国产一区二区久久久777| 性国产日韩欧美一区二区在线| 国产一区不卡视频| 人人澡超碰碰97碰碰碰| 国产精品久久久久四虎| 羞羞免费视频网站| 国内精品国产三级国产99| 欧美精品一区久久| 免费久久一级欧美特大黄| 欧美一级久久精品| 国产精品久久久久久久新郎| 国产精品1234区| 91视频一区二区三区| 久久久综合香蕉尹人综合网| 91超薄丝袜肉丝一区二区| 免费在线观看国产精品| 久久一区二区三区欧美| 中文字幕一区二区三区乱码视频| 国产一区二区午夜| 91精品啪在线观看国产| 国产黄色一区二区三区| 久久一区二区三区欧美| 国产欧美一区二区精品性色超碰| 久久国产精久久精产国| 欧美日韩国产欧美| xxxxhd欧美| 国产精品v欧美精品v日韩| 热re99久久精品国99热蜜月| 91麻豆精品一区二区三区| 国产女人好紧好爽| 国产精品色婷婷99久久精品| 亚洲精品色婷婷| 久久激情图片| 午夜666| 久久99精品国产麻豆宅宅| 国产精品你懂的在线| 欧美资源一区| 欧美日韩亚洲另类| 99久久精品国| 国产精品免费不卡| 国产精品欧美一区二区三区| 欧美精品第一区| 国产91久久久久久久免费| 国产精品偷乱一区二区三区| 少妇高潮一区二区三区99小说| 少妇高清精品毛片在线视频| 欧美亚洲精品一区二区三区| 日韩精品免费一区二区中文字幕| 国产精品久久久久久久久久久新郎| 久久国产精品欧美| 国产人伦精品一区二区三区| 国产精品视频一区二区三| 日韩欧美国产第一页| 欧美日韩激情在线| 韩漫无遮韩漫免费网址肉| 亚洲福利视频二区| 国产精品一区二区免费视频| 欧美一区二区三区三州| 国产69精品久久久久男男系列| 国产精品国产三级国产专播精品人| 毛片大全免费看| 91免费视频国产| 日韩欧美一区精品| 日韩精品一区二区三区在线| 国产欧美一区二区三区在线| 国产原创一区二区| 国产91久久久久久久免费| 中文字幕一区二区三区不卡 | 国产女人好紧好爽| 久久二区视频| 中出乱码av亚洲精品久久天堂| 欧美精品在线观看一区二区| 亚洲国产精品肉丝袜久久| 日韩亚洲精品在线| 久久免费视频一区二区| 日韩久久精品一区二区三区| 欧美大成色www永久网站婷| 久久激情影院| 99欧美精品| 97久久精品人人做人人爽| 国产精品999久久久| 日韩区欧美久久久无人区| 国产综合亚洲精品| 久草精品一区| 国产日韩一区在线| 香港三日本8a三级少妇三级99 | 国产日韩欧美在线一区| 国产精品视频二区三区| 理论片午午伦夜理片在线播放| 欧美高清一二三区| 亚洲精品乱码久久久久久高潮| 91精品色| 国产欧美精品一区二区三区小说 | 国产精品乱码久久久久久久 | 亚洲国产精品日韩av不卡在线| 日韩精品中文字| 久久一区二区三区欧美| 日韩午夜三级| 一区二区午夜| 欧美在线一级va免费观看| 69久久夜色精品国产7777| 91精品久久久久久| 亚洲码在线| 欧美高清视频一区二区三区| 四虎影视亚洲精品国产原创优播| 国产精品影音先锋| 亚洲精品久久在线| 国产精品高潮呻吟视频| 中文字幕一区二区在线播放| 亚洲乱亚洲乱妇28p| 99精品国产99久久久久久97 | 国产精品区一区二区三| 国产乱人伦精品一区二区| 91看片片| 色综合久久精品| 欧美大片一区二区三区| 亚洲国产99| 国产精品久久久久久久久久久新郎 | 国产一区2| 国产日产欧美一区| 午夜影院一区| 午夜精品在线播放| 香蕉久久国产| 日韩精品一区二区三区在线| 7777久久久国产精品| 性欧美1819sex性高播放| 午夜电影一区二区三区| 久久国产精品视频一区| 91社区国产高清| 国产欧美一区二区在线| 亚洲精品一区二区三区香蕉| 久久综合二区| 国产精品不卡一区二区三区| 欧美日韩不卡视频| 中文字幕欧美一区二区三区| 在线视频国产一区二区| 日韩av中文字幕在线| 亚洲欧洲日韩av| xoxoxo亚洲国产精品| 国产69精品久久久久777糖心| 日韩国产精品久久久久久亚洲| 亚洲三区在线| 国产精品视频一区二区在线观看| 国产日韩一区二区在线| 韩国女主播一区二区| 欧美性二区| 欧美一区二粉嫩精品国产一线天| 国产一区二区中文字幕| 久久99国产精品久久99果冻传媒新版本| 国产一区二区精品在线| 日韩中文字幕亚洲欧美| 欧美日韩精品不卡一区二区三区 | 国产1区2区视频| 天天射欧美| 鲁丝一区二区三区免费观看| 亚洲精品久久久久中文字幕欢迎你 | 国产91丝袜在线| 99爱精品在线| 国产精品美女久久久免费| 午夜一区二区视频| 国产一区二区在线免费| 免费的午夜毛片| 狠狠色噜噜狠狠狠狠777| 国产一区网址| 国产88在线观看入口| 亚洲四区在线| 中日韩欧美一级毛片| 爽妇色啪网| 久久精品亚洲精品国产欧美| 国产真裸无庶纶乱视频| 免费91麻豆精品国产自产在线观看| www.久久精品视频| 特级免费黄色片| 国产高清精品一区| 国产一区精品在线观看| 色噜噜狠狠狠狠色综合久| 国产日韩欧美一区二区在线观看|