[其他]陰極電弧源離子滲金屬技術及設備無效

申請號：	88100549	申請日：	1988-02-11
公開（公告）號：	CN88100549A	公開（公告）日：	1988-08-03
發明（設計）人：	王福貞;周友蘇;劉文郁	申請（專利權）人：	北京聯合大學機械工程學院機電技術開發服務公司
主分類號：	C23C10/00	分類號：	C23C10/00;C23C14/32
代理公司：	鐵道部科技情報所鐵路專利咨詢服務中心	代理人：	羅迎難
地址：	北京市朝陽***	國省代碼：	北京;11
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摘要：	本發明是一種利用低氣壓弧光等離子體對金屬工件滲入特定元素，以優化工件表面性能的技術和設備。它采用陰極電弧蒸發器作為離子滲金屬時的蒸發源、離化源和加熱源，產生高密度的金屬離子流，同時對工件施加高負偏壓，以吸引金屬離子流加速到達工件，將工件加熱至高溫，離子滲入其表面。如可獲得鎢、鉬、鎳、鉻、鈦、鋁、鋯、鉭、鈮等金屬滲層以及它們與碳、氮、氧的化合物滲鍍層，提高滲金屬效率和質量。
搜索關鍵詞：	陰極電弧離子金屬技術設備
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【主權項】：

1、在真空高溫狀態下對工件(10)進行等離子體滲金屬的技術和設備：①其技術特征是采用陰極電弧蒸發器(14)作離子滲金屬時的蒸發源、離化源和加熱源，利用低氣壓弧光放電產生高密度金屬離子流，同時對工件(10)提高負偏壓，提高金屬離子到達工件(10)的能量，以此對被處理工件(10)表面形成滲層的技術；②其設備特征是裝有一個或多個陰極電弧蒸發器(14)，并配置適量的支架(1)、機械泵(2)、擴散泵(3)、底盤(4)、真空室(5)、觀察窗(6)、負偏壓電源(7)、陰極夾具(8)、絕緣密封件(9)(13)、進氣裝置(11)、源極靶材(12)、弧源電源(15)、引弧電極(16)等裝置的組合形成的設備。

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