[其他]管芯測量觀察裝置無效

申請號：	87201004	申請日：	1987-02-05
公開（公告）號：	CN87201004U	公開（公告）日：	1988-05-18
發明（設計）人：	陳瑞璋	申請（專利權）人：	中國科學院上海冶金研究所
主分類號：	H01L21/66	分類號：	H01L21/66
代理公司：	中國科學院上海專利事務所	代理人：	季良赳,沈德新
地址：	上海市***	國省代碼：	上海;31
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摘要：	本實用新型是半導體激光或發光二極管管芯的測量觀察裝置，屬于半導體光輻射器件制造或處理時的測量設備。它由抽氣泵，通氣泵閥，使管芯繞軸和自身作360°旋轉和上下移動的機械調節機構及觀察顯微鏡組成。本實用新型配以測量儀器可以測量激光器或發光二極管的電學特性，電光特性，也可觀察激光二極管管芯的解理腔面，通氣泵閥可使管芯方便的吸附在吸片針上及使管芯自然落入管芯盒中。是LD與LED研究制造過程中的有效監測工具。
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【主權項】：

1、一種半導體激光或發光二極管的測量觀察裝置，它由抽氣泵、通氣泵閥、管芯測量觀察臺和觀察顯微鏡構成，本實用新型的特征在于管芯測量觀察臺有探測光功率的光電探測器；有包括在平面上使管芯繞軸作360°旋轉的搖臂，使管芯自身作360°旋轉的方向調節盤和調節搖臂和管芯高度的調節螺母所構成的機械調節機構，以及有可抽空或通氣的導氣管路；通氣泵閥有與抽氣泵和測量觀察臺相連的導氣管及與大氣相連的放氣孔；管芯觀察臺的吸片針兼作上電極，上電極與下電極間有絕緣材料制成的絕緣底座。

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