[其他]徽波增強式化學汽相淀積法及設備無效

申請號：	87107779	申請日：	1987-11-09
公開（公告）號：	CN87107779A	公開（公告）日：	1988-05-25
發明（設計）人：	犬島喬;廣瀨直樹;山崎舜平;田代衛	申請（專利權）人：	株式會社半導體能源研究所
主分類號：	C23C16/44	分類號：	C23C16/44
代理公司：	中國專利代理有限公司	代理人：	肖掬昌,何關元
地址：	日本神奈***	國省代碼：	暫無信息
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：	本說明書敘述了一種新型的化學汽相淀積法。這里化學汽相反應的主要的激發動力不是電子回旋共振(這時的電子作為獨立粒子能夠運動而不相互作用)而是混合回旋共振。在這種新提出的共振中，共振空間較大，因而用此新方法可將金剛石之類的高熔點物質淀積成薄膜狀。
搜索關鍵詞：	增強化學汽相淀積法設備
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【主權項】：

1、一種微波增強式化學汽相淀積設備，其特征在于，該設備包括：-反應室；-供氣裝置，用以將反應氣體輸入所述反應室中；-微波發生器，與所述反應室連通，用以將微波發射入界定在所述反應室中的一共振區間內；-磁鐵，用以在所述共振區間內感應出磁場；和夾持裝置，用以將待涂敷的物體夾持在所述共振區間的一個區域中，所述微波的電場的近似最大值就在所述區域中。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社半導體能源研究所，未經株式會社半導體能源研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/patent/87107779/，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。