[其他]徽波增強式化學汽相淀積法及設備

無效

• 申請號: 87107779
• 申請日: 1987-11-09
• 公開（公告）號: CN87107779A
• 公開（公告）日: 1988-05-25
• 發明（設計）人: 犬島喬;廣瀨直樹;山崎舜平;田代衛
• 申請（專利權）人: 株式會社半導體能源研究所
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 肖掬昌,何關元

1、一種微波增強式化學汽相淀積設備，其特征在于，該設備包括：

-反應室；

-供氣裝置，用以將反應氣體輸入所述反應室中；

-微波發生器，與所述反應室連通，用以將微波發射入界定在所述反應室中的一共振區間內；

-磁鐵，用以在所述共振區間內感應出磁場；和

夾持裝置，用以將待涂敷的物體夾持在所述共振區間的一個區域中，所述微波的電場的近似最大值就在所述區域中。

2、根據權利要求1所述的設備，其特征在于，該設備還包括溫度控制裝置，用以控制所述物體的溫度。

3、根據權利要求2所述的設備，其特征在于，所述控制裝置是個紅外加熱器。

4、根據權利要求3所述的設備，其特征在于，所述加熱器用紅外光照射所述夾持裝置。

5、根據權利要求4所述的設備，其特征在于，所述紅外光聚焦到所述夾持裝置上。

6、根據權利要求5所述的設備，其特征在于，所述共振區間為圓筒形壁所包圍。

7、根據權利要求6所述的設備，其特征在于，所述磁鐵是一個環包所述筒形壁外側的螺線管。

8、一種微波增強式化學汽相反應設備，該設備包括：

-反應室，配備有將所述反應室抽成負壓的裝置;

微波發生裝置，用以在所述反應室中產生微波;和

磁場感應裝置，用以在所述反應室中感應出磁場;

所述設備的特征在于，在所述微波取最大值的電場的一個區域中在磁場與微波之間建立起電子回旋共振狀態。

9、根據權利要求8所述的設備，其特征在于，所述化學汽相反應是在所述區域中進行。

10、一種微波增強式化學汽相淀積設備，其特征在于，所述設備具有一反應氣體引入系統和一淀積區間，在該區間中用磁波和磁場建立起一電子回旋共振狀態。

11、一種微波增強式化學汽相淀積法，該方法包括下列步驟：

往一反應室中引入反應氣體;

在所述反應室中感應出一磁場;

往所述反應室中輸入微波;

在所述磁場情況下用所述微波激發所述反應氣體;和

藉化學汽相反應在待涂敷的平面上淀積上一層薄膜;

所述方法的特征在于，所述淀積區域系限定在激發區域中的，在該激發區域中，所述磁場和微波彼此相互配合激發著所述反應氣體。

12、一種化學汽相淀積法，包括下列步驟：

往一反應室中引入反應氣體;

在所述反應室中感應出一磁場;

往所述反應室中輸入微波;

在所述磁場情況下用所述微波能激發所述反應氣體;和

藉化學汽相反應在待涂敷的表面上淀積上制品;

所述方法的特征在于，在操作過程中將反應氣體的壓力保持在1托和100托之間。

13、根據權利要求12所述的方法，其特征在于，選取所述壓力在3托和30托之間。

14、根據權利要求12所述的方法，其特征在于，所述反應氣體起碼是個烴類。

15、根據權利要求14所述的方法，其特征在于，所述淀積制品是金剛石。

16、根據權利要求14所述的方法，其特征在于，所述淀積制品是絕緣碳。

17、根據權利要求12所述的方法，其特征在于，所述反應氣體為C₂H₆、C₂H₄和/或C₂H₂。

18、一種化學汽相淀積法，包括下列步驟：

將待處理的物體安置在一反應室中;

往所述反應室中輸入反應氣體;

借助于與磁場相互配合的微波激發所述反應氣體;

在所述待處理的物體上進行化學汽相反應;

所述方法的特征在于，所述反應氣體的壓強是這樣選取的，以便產生混合共振。

19、根據權利要求18所述的方法，其特征在于，所述磁場的強度等于或高于1千高斯。

20、如權利要求18所述的方法，其特征在于，所述磁場的頻率為2.45千兆赫。