[其他]襯底上薄膜的特性監測設備無效
| 申請號： | 87107260 | 申請日： | 1987-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN87107260A | 公開（公告）日： | 1988-08-10 |
| 發明（設計）人： | 沃爾特·迪·麥庫姆;理查德·迪·沙維;格雷戈里·舒·李;安德魯·韋·魯道夫 | 申請（專利權）人： | 利比-歐文斯-福特公司 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06;G01N21/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 曹濟洪,許新根 |
| 地址： | 美國俄*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 一種測定和顯示敷在玻璃條板表面的薄膜的精選特性的設備，該設備包括一裝在導軌上以便在玻璃條板帶薄膜的表面上方移動的掃描頭。掃描頭有一光脈沖源，該光脈沖源由一鎢絲燈和一遮光器產生，經濾光以模擬晝光，然后聚焦到敷有薄膜的表面上。掃描頭上還有裝有一積分球，球壁上開有一入口，用以收集從薄膜表面反射回來的部分光。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 薄膜 特性 監測 設備 | ||
【主權項】：
1、一種襯底上薄膜特選特性測定設備，該測定設備包括：一掃描頭，安裝得使其可沿距某一襯底表面一段距離通常為線性的路徑運動；一光源，附在所述掃描頭上；一導光裝置，用以引導所述光源的光束使其照射到襯底表面；一集光裝置，附在所述掃描頭上，用以將襯底表面反射回來的所述光束的至少一部分收集起來；其特征在于，該測定設備還包括：一輸出信號發生裝置，用以根據所述收集到的光產生表示所述光束的至少兩種不同特性的輸出信號；和一薄膜特性測定裝置，用以根據所述輸出信號測定在襯底表面上形成的薄膜的至少一種特性。
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