[其他]襯底上薄膜的特性監測設備

無效

• 申請號: 87107260
• 申請日: 1987-12-03
• 公開（公告）號: CN87107260A
• 公開（公告）日: 1988-08-10
• 發明（設計）人: 沃爾特·迪·麥庫姆;理查德·迪·沙維;格雷戈里·舒·李;安德魯·韋·魯道夫
• 申請（專利權）人: 利比-歐文斯-福特公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01N21/00
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 曹濟洪,許新根

1、一種襯底上薄膜特選特性測定設備，該測定設備包括：

一掃描頭，安裝得使其可沿距某一襯底表面一段距離通常為線性的路徑運動；

一光源，附在所述掃描頭上；

一導光裝置，用以引導所述光源的光束使其照射到襯底表面；

一集光裝置，附在所述掃描頭上，用以將襯底表面反射回來的所述光束的至少一部分收集起來；

其特征在于，該測定設備還包括：

一輸出信號發生裝置，用以根據所述收集到的光產生表示所述光束的至少兩種不同特性的輸出信號；和

一薄膜特性測定裝置，用以根據所述輸出信號測定在襯底表面上形成的薄膜的至少一種特性。

2、如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述掃描頭是安裝在襯底表面上支撐的導軌上。

3、如權利要求2所述的設備，其特征在于，所述襯底是玻璃條板，所述導軌的兩端用一對位于條板兩對向側通常豎向延伸的支柱支撐著。

4、如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述襯底呈條板材的形式，可沿平行于襯底縱向軸線的路徑運動，所述通常為線性的掃描頭路徑則通常垂直于所述條板兩對向側之間的所述縱向軸線延伸。

5、如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述光源包括鎢絲燈。

6、如權利要求5所述的設備，其特征在于，所述光源包括一濾光器，用以減少所述光束的紅色分量。

7、如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述光源包括一遮光器，用以使所述光束形成一系列光脈沖。

8、如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述導光裝置包括一透鏡，用以將光從所述光源聚焦成所述光束。

9、如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述集光裝置包括一積分球，呈空心球的形式，球壁上開有一入口，朝向襯底表面，從而使從襯底表面反射回來的所述光束至少有一部分通過所述入口進入所述球中，并在所述球中收集起來。

10、如權利要求9所述的設備，其特征在于，所述積分球的所述球壁的內表面敷有反光材料。

11、如權利要求9所述的設備，其特征在于，所述輸出信號發生裝置包括一在所述積分球的所述球壁上形成的檢測器端口和一安置在所述檢測器端口中用以根據在所述積分球中所收集到的所述光產生其中一個所述輸出信號的光電探測器。

12、如權利要求9所述的設備，其特征在于，所述輸出信號發生裝置包括至少一對在所述積分球的所述球壁上形成的檢測器端口以及第一和第二光電探測器，第一和第二光電探測器安置在所述檢測器端口的相應端口中，用以根據在所述積分球中所收集到的所述光分別產生第一和第二輸出信號。

13、如權利要求12所述的設備，其特征在于，所述輸出信號發生裝置包括第一和第二濾光裝置，裝在那里用以過濾所述收集在所述積分球中并分別由所述第一和第二光電探測器檢測的光。

14、如權利要求13所述的設備，其特征在于，所述第一濾光裝置將所述具有CIE??X、Y、Z三色刺激色標的“Y”分量值的光傳送到所述第一光電探測器中，且所述第一輸出信號表示所述“Y”分量光的強度。

15、如權利要求13所述的設備，其特征在于，所述第二濾光裝置將所述具有CIE??X、Y、Z三色刺激色標的“Z”分量值的光傳送到所述第二光電探測器中，且所述第二輸出信號表示所述“Z”分量光的強度。

16、如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述輸出信號呈模擬形式，且所述測定至少一種特性用的裝置包括一微處理機，該微處理機用以根據所述輸出信號將所述模擬形式轉換成數字形式，并用以以數字形式處理所述輸出信號以產生一特性信號，且包括一顯示器，用以根據所述特性信號可見地顯示襯底上薄膜的預定特性。

17、如權利要求16所述的設備，其特征在于，所述預定特性是有關CIELAB三色刺激色標的b值。

18、如權利要求16所述的設備，其特征在于，所述預定特性是反射率值。

19、如權利要求16所述的設備，其特征在于，所述預定特性是薄膜厚度值。

20、一種基本上如上述參照附圖所介紹的襯底上薄膜的特選特性測定設備。