[其他]旋轉干燥設備無效
| 申請號： | 87103644 | 申請日： | 1987-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN87103644A | 公開（公告）日： | 1987-12-02 |
| 發明（設計）人： | 杰拉爾德·馬丁·卡爾 | 申請（專利權）人： | 伊斯曼柯達公司 |
| 主分類號： | F26B5/08 | 分類號： | F26B5/08 |
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 肖春京,林長安 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 一用于干燥半導體圓片的旋轉干燥設備。其中該圓片只是在其邊緣部分被一多個徑向延伸臂所接觸，且其中提供以用以防止在旋轉干燥步驟期間由于該臂的旋轉的扇狀影響而產生湍流空氣流及由于旋轉干燥設備本身的操作所攪動的雜質重新污染已清洗干凈及干燥的圓片表面。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 旋轉 干燥設備 | ||
【主權項】：
1、用于干燥片狀元件的旋轉干燥設備，所述設備包括一軸被安排成用以作旋轉運動，并在其一端部上有一驅動馬達，及在其另一端部上有一旋轉的頂部組件，其特征在于：-所述頂部組件包括一頂部元件同軸地安排在所述軸的另一端部上并具有一多個從該軸上向外延伸的旋臂；-一多個可動臂與各個所述旋臂樞軸連接并具有圓片一接合部分；-用以偏移所述可動臂的圓片一接合部分至圓片一接合位置的偏移裝置；-用以移動可動臂以反抗所述偏移裝置從所述圓片一接合位置移動可動臂的所述圓片一接合部分的裝置，及-緊密地圍繞所述徑向延伸臂的抑制裝置包括一蓋罩元件用以大體上消除由于所述徑向延伸臂的旋轉而在所述片狀元件的周圍產生的氣流。
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