[其他]一種變間距刻劃的方法及裝置無效
| 申請號： | 87102780 | 申請日： | 1987-04-10 |
| 公開（公告）號： | CN87102780A | 公開（公告）日： | 1988-10-19 |
| 發明（設計）人： | 張慶英;花清印 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G02B27/32 | 分類號： | G02B27/32;B25H7/04 |
| 代理公司： | 中科院長春專利事務所 | 代理人： | 劉樹清 |
| 地址： | 吉林省長*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一種變間距刻劃的方法及裝置，屬于光電控制機械刻劃領域中的變間距刻劃，尤其是變間距光柵的機械刻劃。由相干光源、分光元件和平面變間距樣板構成干涉儀系統，用此干涉儀可控制工作臺做變間距或變速運動。本發明簡單易行，準確可靠，對最小變化量無限制且可實現多種間距變化形式。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 一種 間距 刻劃 方法 裝置 | ||
【主權項】：
1、一種變間距刻劃的方法其特征在于，用置于工作臺[1]上的平面變間距樣板[4]，相干光源[5]和分光元件[7]組成干涉儀，由此干涉儀產生的干涉條紋信號被光電轉換器[9]接收并通過計數控制工作臺[1]做變速或變間距運動而使工作臺[1]上的毛坯件[3]獲得變間距刻劃。
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