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[其他]一種變間距刻劃的方法及裝置無效

專利信息
申請號: 87102780 申請日: 1987-04-10
公開(公告)號: CN87102780A 公開(公告)日: 1988-10-19
發明(設計)人: 張慶英;花清印 申請(專利權)人: 中國科學院長春光學精密機械研究所
主分類號: G02B27/32 分類號: G02B27/32;B25H7/04
代理公司: 中科院長春專利事務所 代理人: 劉樹清
地址: 吉林省長*** 國省代碼: 吉林;22
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 間距 刻劃 方法 裝置
【權利要求書】:

1、一種變間距刻劃的方法其特征在于,用置于工作臺[1]上的平面變間距樣板[4],相干光源[5]和分光元件[7]組成干涉儀,由此干涉儀產生的干涉條紋信號被光電轉換器[9]接收并通過計數控制工作臺[1]做變速或變間距運動而使工作臺[1]上的毛坯件[3]獲得變間距刻劃。

2、一種變間距刻劃的裝置由光源、分光元件、樣板、光電轉換器和工作臺組成,其特征在于光源為相干光源〔5〕,置于工作臺〔1〕上的樣板為平面變間距樣板〔4〕,光電轉換器〔9〕可置于工作臺〔1〕上,也可置于工作臺以外的運動件上或不動的基座上。

3、按權利要求2所述的變間距刻劃裝置,其特征在于平面變間距樣板〔4〕可由間距變化規律相同,刻線平行串接排列的兩塊平面變間距樣板或者由一塊毛坯但有兩個間距變化規律相同,刻線平行的刻線區域的樣板構成。

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