[其他]新型等離子體成像儀無效
| 申請號： | 86210073 | 申請日： | 1986-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN86210073U | 公開（公告）日： | 1987-10-07 |
| 發明（設計）人： | 周岳亮;顧世杰;陳正豪;呂惠賓;馬小娟;劉寶秀;劉鴻興;崔大復 | 申請（專利權）人： | 中國科學院物理研究所;北京安全局微技術研究所 |
| 主分類號： | H01J37/00 | 分類號： | H01J37/00 |
| 代理公司： | 中國科學院專利事務所 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 北京市6*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 一種等離子體成像儀，結構簡單，操作方便，成本低廉。該儀器可將5-100μm的表面起伏信號轉變為不同層次的黑白信號，從而可獲得凹凸分布花樣的照片，其分辨率高達100Lines/mm。本實用新型由上、下一對金屬電極，掃描裝置、抽氣裝置、高壓電源和機殼組成。本實用新型可用于半導體、晶體、玻璃、金屬、紙張以及各種薄膜表面的檢測，尤其在公安檢測方面有重要的應用。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 新型 等離子體 成像 | ||
【主權項】：
1、一種新型的等離子體成像儀，它包括上下一對金屬電極和高壓射頻電源，其特征在于它具有掃描裝置和抽氣、充氣裝置。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院物理研究所;北京安全局微技術研究所，未經中國科學院物理研究所;北京安全局微技術研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/patent/86210073/，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：多功能地球儀臺燈
- 下一篇：雙側大開口長刃角指甲刀
