[其他]新型等離子體成像儀無效
| 申請號： | 86210073 | 申請日： | 1986-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN86210073U | 公開（公告）日： | 1987-10-07 |
| 發明（設計）人： | 周岳亮;顧世杰;陳正豪;呂惠賓;馬小娟;劉寶秀;劉鴻興;崔大復 | 申請（專利權）人： | 中國科學院物理研究所;北京安全局微技術研究所 |
| 主分類號： | H01J37/00 | 分類號： | H01J37/00 |
| 代理公司： | 中國科學院專利事務所 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 北京市6*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 新型 等離子體 成像 | ||
【權利要求書】：
1、一種新型的等離子體成像儀，它包括上下一對金屬電極和高壓射頻電源，其特征在于它具有掃描裝置和抽氣、充氣裝置。
2、根據權利要求1所述的等離子體成像儀，其特征在于掃描裝置由一個掃描電極（9）和二個不銹鋼滑干（6），在滑干（6）上套上二個尼龍滑筒（8），并由皮帶（8）來聯接尼龍滑筒（8）與雙向微電機（1）。
3、根據權利要求2所述的等離子體成像儀，其特征在于掃描電極是紫銅刀口做成，或是其它金屬或者是一根鎢絲。
4、根據權利要求1所述的等離子體成像儀，其特征在于抽氣、充氣裝置是在上、下機殼之間由真空橡皮墊圈（10）密封，在上、下機殼上安有氣嘴（11），并用真空橡皮管聯上抽氣機。
5、根據權利要求1所述的等離子體成像儀，其特征在于高壓射頻電源也可以用50Hz高壓電源代替。
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