[其他]濕度測量儀無效
| 申請號： | 86204690 | 申請日： | 1986-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN86204690U | 公開（公告）日： | 1987-07-29 |
| 發明（設計）人： | 曹德福;駱如枋 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海冶金研究所 |
| 主分類號： | G01N27/22 | 分類號： | G01N27/22;G01W1/00 |
| 代理公司： | 中國科學院上海專利事務所 | 代理人： | 季良赳,沈德新 |
| 地址： | 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本實用新型是以Si-MOS型Al2O3濕度傳感器為測濕元件的濕度測量儀。它采用α相Al2O3作為MOS結構的氧化層并以正交分量法電容測量儀作為二次儀表，可重復穩定地測量-80℃～+10℃露點范圍的絕對濕度和0—100％的相對濕度。儀器讀數穩定，不發生長期漂移，可用于工業過程的濕度監控，環境濕度的檢測與控制，超純氣體中含水量的分析測量，氣密封裝電子器件中濕度的檢測及器件可靠性和失效機理的研究等領域。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 濕度 測量儀 | ||
【主權項】：
1、一種由Si-MOS型Al2O3濕度傳感器和電容測量儀構成的濕度測量儀，本實用新型的特征在于Si-MOS型Al2O3濕度傳感器中的氧化鋁是α相Al2O3，并采用能直接測量反映濕度變化的MOS電容值的正交分量法電容測量儀。
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